ダイヤフラムバルブ
米国APTech社より輸入販売しているダイヤフラムバルブをご紹介いたします。 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応しています。
ダイヤフラムバルブの推奨機種選定表(PDF)を掲載しています。
ダイヤフラムバルブを使用するに際して、その選定の目安となりますので、ダウンロードしてお読みください
![圧力調整器](/product/bf2df0b1cb7ba27bd8e820d9e13b0c36fbc1c98e.jpg)
高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AP】
特長
- 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応。
- 豊富な品揃えによりあらゆるガス供給用途に対応。
- SUS316L(ダブルメルト)材質を使用。
- 接ガス部は、電解研磨処理+不動態化処理。
- ダイレクトダイヤフラム構造により、高気密、高耐久、パーティクルフリーやデットスペースも小さく置換効率も良い。
- 外部メタルシール構造
![高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AP】](/product/contents_img_002%20%2866%29.jpg)
画像一覧 ※クリックすると拡大します
仕様およびPDFカタログダウンロード
下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。
用途 | シリーズ(PDFカタログ) | 接続方法 | ||
---|---|---|---|---|
AP | エアオペレート式 | 低圧用 | ・フェースシール継手 ・チューブ接続 |
|
高圧用 | ||||
大流量用 | ||||
二段式 | ||||
メタルシール | ||||
マニュアル式 | 低圧用 | |||
高圧用 | ||||
大流量用 | ||||
メタルシール |
取扱説明書ダウンロード
ローコスト高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AZ】
特長
- 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応。
- SUS316L(シングルメルト)材質を使用しコストダウン提案。
- 接ガス部は、電解研磨+不動態化処理。
- ダイレクトダイヤフラム構造により、高気密、高耐久、パーティクルフリーやデットスペースも小さく置換効率も良い。
- 外部メタルシール構造
![ローコスト高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AZ】](/product/contents_img_003%20%2851%29.jpg)
仕様およびPDFカタログダウンロード
下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。
用途 | シリーズ(PDFカタログ) | 接続方法 | ||
---|---|---|---|---|
AZ | エアオペレーション式 | 低圧用 | ・フェースシール継手 ・チューブ接続 |
|
マニュアル式 |
取扱説明書ダウンロード
一般ガス用 ダイヤフラムバルブ 【AK】
特長
- 半導体産業から一般産業まで幅広い用途に使用可能。
- コンプレッション継手、Rc、R、NPTに対応。
- 材質はSUS316を使用。
- 接ガス部は不動態化処理。
![一般ガス用 ダイヤフラムバルブ 【AK】](/product/contents_img_004%20%2834%29.jpg)
仕様およびPDFカタログダウンロード
下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。
用途 | シリーズ(PDFカタログ) | 接続方法 | ||
---|---|---|---|---|
AK | エアオペレーション式 | 低圧用 | ・コンプレッション継手 ・Rc ・R ・NPT |
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マニュアル式 |
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TEL : 044-435-5860(直通)