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東横化学の シリンダーキャビネット は エレクトロニクス産業に必要な特殊材料ガスを安全・安定に供給することを目的として開発された設備です。
お客様の要求に応えるため様々な機種を取り揃え、今までに販売したシリンダーキャビネットはシリーズ累計3,000台以上を誇ります。
また使用するガスの性質や消費量、ガスメーカーの供給体制を含めた検討材料により適切な供給形態を検討し、提案することが可能です。
当社では、ガス取り扱いのノウハウを生かし、長年に亘り、Epi装置、MOCVD用原料供給装置を始めとした各種ガスパネル/ガスボックスの設計・製作のご依頼に対応して参りました。
これまでの実績を生かし、ユーザー様のご要望(価格、仕様)に合わせた、オーダーメイドのガスパネル/ガスボックスが提供可能です。
通常のガス供給に加えて、液化ガスのバブリング送気にも対応いたします。
また、各種法令による届出申請のお手伝いもいたします。
各種部品等のリークチェックで使用されるヘリウム(He)混合ガスを回収、濃度調整、再利用(リサイクル)する装置です。本装置はユーザーの要望に合わせ設計、製作を行うオーダーメイド製品となります。
除害の処理方法には、燃焼式・加熱分解式・湿式・触媒式プラズマ分解式・吸着式等の方法があります。当社では長年のガス・半導体業界での経験を活かし、お客様の条件にあった除害処理設備を選定し、環境含めた問題解決のご提案をいたします。
エレクトロニクス工場に必須の高純度ガス精製装置です。
様々な精製装置メーカー・精製方式の中から、お客様に最適なものをご提案しております。長年のガスのハンドリングの経験を充分に活かし、豊富な精製装置のノウハウをお客様にご提供いたします。
可燃性・毒性ガスの漏洩を監視する機器です。漏洩時の安全対策等ガスメーカーの立場から設置工事・I/L提案等も含め検討します。
ガスの安全・安定供給を監視・管理するためのガス監視システムを構築いたします。 ガスに関するガス総合監視システム他、ガス供給装置監視、ガス漏洩監視、排気ガス監視、 ガスセンター監視、ツール監視等、個別監視システムも揃えています。
特殊材料ガスを使用する装置に関して、装置接続関係の付帯工事(配管工事等)を一式で請け負って作業を行います。装置立ち上げまでの期間を短縮し、管理コストを削減できます。また、配管工事に関する費用(コスト)も削減できます。
記載している作業以外にも冷却水配管工事、一般ガス配管工事、用力架台、精製ボックス等の作業実績があります。
WEBブラウザでプラント情報を遠隔操作・管理!
GEインテリジェント・プラットフォームのiFIX (アイフィックス)は、お客様が監視制御システムに求めるもの、例えば優れた監視制御機能、企業内における情報の共有化、プラントフロアとERPやMESといった上層レベルのビジネスシステムとシームレスな統合などを容易に実現できる国内シェアNo.1のHMI/SCADAソフトウェアです。
システムコントロール用ソフトウェア ToPS9 は、汎用PCのWindows上で動作し、半導体製造装置をはじめとしたプロセスコントロールを行なうシステムコントローラです。
プロセスコントロールに必要なレシピ作成機能、その実行機能、モニタリリング機能および履歴機能を備えています。
自動車用のセンサ部品(医療機器・分析機器・産業用機器対応)の、複合(圧力・湿度・高温・低温・振動)サイクル試験機器です。
センサの性能確認用としてもご利用いただけます。恒温槽・振動試験機(貴社設置品) を組合せる事で複合試験を同時に実施できます。
エピタキシャルシリコン成長装置向け、トリクロロシラン(TCS)気化供給装置で、蒸発器と凝縮器から構成される単蒸留装置です。精密な定圧制御装置を付加し高度に濃度制御されたトリクロロシラン/水素混合ガス(TCS/H2)を発生させます。