システムコントロール用ソフトウェア

システムコントロール用ソフトウェア ToPS9は、汎用PCのWindows上で動作し、半導体製造装置をはじめとしたプロセスコントロールを行なうシステムコントローラです。
プロセスコントロールに必要なレシピ作成機能、その実行機能、モニタリング機能および履歴機能を備えています。

対象設備

半導体製造装置、理化学装置、ガス供給装置、他

製品概要

  • PLCリンク機能
  • グラフィック表示機能
  • 保存可能レシピ数
    99本 (99ステップ/レシピ)
  • ステップにおける設定
    ステップ名称 (半角8文字)
    デジタル出力 (バルブ類) 48点
    流量設定 12点
    温度設定 5点
  • ステップ歩進条件
    時間 (最大99h59m59s)
    温度、圧力、外部入力およびタッチパネルからの入力
  • アラームインターロック機能
    ガス流量、温度および外部入力についてそれぞれインターロックレベルを設定 (4レベル)
    インターロックジャンプ先(任意のレシピ番号、ステップ番号)を設定
  • データチェンジ機能
    実行中レシピの全ステップの設定内容変更可能
  • データ履歴機能
    任意ステップ時の温度およびガス流量
  • 稼動履歴機能
    処理開始時間、終了時間、成膜ステップ時のガス流量および温度等の最新の100バッチ分を保存
  • アラーム履歴
    最新の50イベント分を保存
  • ヒストリカルトレンド機能
    温度、ガス流量、真空度を10秒毎に100バッチ分を保存します。

動作環境

Microsoft windowsは米国Microsoft社の米国および
その他の国における登録商標です。

対応OS Windows 7
PLCとリンク可能なハードウェア

提供の形態

  • ソフトウェア単体
  • ユーザ向けカスタマイズ
  • ハードウェアの環境設定およびインストール
  • PLCリンク設定
  • PLCプログラム

上記のいずれかもしくは組み合わせ。 本ソフトウェアはPLCがI/Oとなり制御する必要があります。

システムコントロール用ソフトウェアに関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(事業開発室 事業開発部)
TEL:044-435-5858(直通)