液体材料供給装置

商品概要

液体材料供給装置
ANESYS

本液体材料供給装置は、お客様の装置に液体材料を安全かつ安定して供給するための装置です。2種類の供給システムで、お客様のニーズにお応えします。

対応流体

TEOS , TiCl4 , MTCS , TCS(SiHCl3) , DEZn , GeCl4 , TEB , SiCl4 , SnCl4 等

供給システム

自動切替タイプ

  • 液量管理による自動2本切替方式
    ロードセルによる液量管理で自動切替を行い、連続供給を可能にします。

自動補充タイプ

  • 液量管理による自動補充方式
    バルクタンクとプロセスタンクを収納し、プロセスタンクの液量を管理することで連続供給を可能にします。

特徴

  • 送液圧力を一定にコントロール
    減圧弁と背圧弁を組み合わせ、送液圧力を一定にします。
  • 液体材料へのガス溶解の抑制
    圧送ガスとパージガスを別系統にし、液体に溶存し難いガスで圧送します。
  • 重量/圧力管理システム
    圧力トランスミッタにて、圧送ガス圧力、送液圧力を監視し、ロードセルにて各タンク内の残液量を監視します。
  • 自動サイクルパージ
    パージガスによる加圧と真空引きを設定回数繰り返します。
  • 自動リークチェック
    タンク交換後にはパージガスで気密チェックを行います。
  • パラメータ設定機能
    各種パラメーターを設定することが可能です。
遠隔操作対応 通信装置を搭載することにより、遠隔操作が可能となります。
真空計による残液確認機能 自動サイクルパージ後に真空計指示値をチェックし、残液の有無を判定します。
脱気機能 送液ラインに脱気装置を取り付けることで、溶存ガスを取り除くことが可能となります。

供給システム例

集中供給システム例

1つの液体供給装置から複数の液体供給装置へ分配供給し、お客様の装置に送液します。
供給装置数を集約することにより、管理の簡素化、タンク交換作業の工数削減を通じてフットプリントの削減、コストダウンを可能にします。

集中供給システム例

個別供給システム例

ユニット内にバルクタンクとプロセスタンクを搭載し、お客様の装置に送液します。
2種類のタンクを1つに収納することで、コンパクトかつコストダウンを可能にします。

個別供給システム例

装置参考外観

集中供給システム(バルクタンク収納)

集中供給システム
(バルクタンク収納)

集中供給システム(プロセスタンク収納)

集中供給システム
(プロセスタンク収納)

個別供給システム 例1

個別供給システム
例1

個別供給システム 例2

個別供給システム
例2

気化供給システム

液体材料供給装置と気化供給システムを組み合わせることで、安定した濃度で気化供給を行います。
当社では気化供給システムの設計・製作も行っております。

気化供給装置気化供給システム

参考外観図

液体材料供給装置 外観図

クリックすると拡大します

液体材料供給装置に関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(本社営業部)
TEL:044-435-5858(直通)