液体材料供給装置

本液体材料供給装置は、お客様の装置に液体材料を安全かつ安定して供給するための装置です。2種類の供給システムで、お客様のニーズにお応えします。

TEOS , TiCl4 , MTCS , TCS(SiHCl3) , DEZn , GeCl4 , TEB , SiCl4 , SnCl4 等

• 液量管理による自動2本切替方式
  ロードセルによる液量管理で自動切替を行い、連続供給を可能にします。

• 液量管理による自動補充方式
  バルクタンクとプロセスタンクを収納し、プロセスタンクの液量を管理することで連続供給を可能にします。

• 送液圧力を一定にコントロール
  減圧弁と背圧弁を組み合わせ、送液圧力を一定にします。
• 液体材料へのガス溶解の抑制
  圧送ガスとパージガスを別系統にし、液体に溶存し難いガスで圧送します。
• 重量/圧力管理システム
  圧力トランスミッタにて、圧送ガス圧力、送液圧力を監視し、ロードセルにて各タンク内の残液量を監視します。
• 自動サイクルパージ
  パージガスによる加圧と真空引きを設定回数繰り返します。
• 自動リークチェック
  タンク交換後にはパージガスで気密チェックを行います。
• パラメータ設定機能
  各種パラメーターを設定することが可能です。

1つの液体供給装置から複数の液体供給装置へ分配供給し、お客様の装置に送液します。
供給装置数を集約することにより、管理の簡素化、タンク交換作業の工数削減を通じてフットプリントの削減、コストダウンを可能にします。

ユニット内にバルクタンクとプロセスタンクを搭載し、お客様の装置に送液します。
2種類のタンクを1つに収納することで、コンパクトかつコストダウンを可能にします。

液体材料供給装置と気化供給システムを組み合わせることで、安定した濃度で気化供給を行います。
当社では気化供給システムの設計・製作も行っております。

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東横化学株式会社（ガスソリューション事業部）
TEL:044-435-5858（直通）