シリンダーキャビネット

シリンダーキャビネット/BSGS

東横化学の シリンダーキャビネット は エレクトロニクス産業に必要な特殊材料ガスを安全・安定に供給することを目的として開発された設備です。
お客様の要求に応えるため様々な機種を取り揃え、今までに販売したシリンダーキャビネットはシリーズ累計3,000台以上を誇ります。
また使用するガスの性質や消費量、ガスメーカーの供給体制を含めた検討材料により適切な供給形態を検討し、提案することが可能です。

■シリンダーキャビネットとは

主に容量47L以下のボンベを収納し、ガスの供給を行う装置です。 供給量によって、10L容器等の小さいボンベから、複数本の容器による同時供給 を行なうことも可能です。 小~中流量のガス供給を目的とする研究機関から生産工場まで幅広いユーザー様でニーズがあります。

■BSGSとは

Bulk Specialty Gas Systemの略で、大流量供給装置を意味します。 470L容器以上の大容量ボンベを収納し、液晶や太陽電池などの量産工場において 大流量のガス供給を必要とするユーザー様向けの供給装置です。

シリンダーキャビネット概要

シリンダーキャビネットCC2000Sの基本4原則

高純度なガスの品質を維持

半導体製造工場などに代表される高純度品質へのニーズに対して、
部品や配管に至るまで徹底的に材料を厳選し、高品質ガスの供給を実現しています。

安全性を考慮した設計

毒性や爆発性など危険性の強いガスの安全供給を目指し、各々のガス物性に合わせて設計しています。

安定供給を考えた設計

24時間365日連続供給体制へのニーズに応え、
想定される様々なトラブルに対しても豊富な経験に基いた安定供給設計をしています。

環境負荷の低減

日本のみならず海外においても重視される省エネルギー、低環境負荷対策を実践しております。

販売分野

シリコン半導体 Silicon Semiconductor
液晶ディスプレイ Liquid Crystal Display
シリコンウエハー Silicon Wafer
プラスマディスプレイ Plasma Display
太陽電池 Solar Battery
化合物半導体 Compound Semiconductor
有機ELディスプレイ Organic Electroluminescence Display
化学 Chemistry
電子部品 Parts of Electronics
エネルギー Energy
鉄鋼 Steel
自動車 Automobile
医療 Medical
研究所 Laboratory

標準対応法規

標準対応法規

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高圧ガス保安法の準拠

日本で高圧ガスを使用するに当たって遵守を義務付けられる法律です。
弊社のCC2000Sはこれに準拠する製品であるため、行政への申請もスムーズに行なうことができます。

経済産業大臣認定制度による認定品の対応

耐圧試験、気密試験、肉厚測定等の検査を行なった部品等を使用します。これまでにも多数の実績がございます。

SEMI規格への対応

主に海外顧客のニーズにより、世界基準に準じたSEMI規格対応の供給装置にも実績がございます。
(右写真参照)

ガス供給実績一覧

No. 化学式 ガス名 No. 化学式 ガス名
1 Ar アルゴン 28 H2 水素
2 AsH3 アルシン 29 H2S 硫化水素
3 B2H6 ジボラン 30 H2Se セレン化水素
4 BCL3 三塩化ホウ素 31 HBr 臭化水素
5 C2F6 ヘキサフルオロエタン 32 HCL 塩化水素
6 C2HF5 ペンタフルオロエタン 33 He ヘリウム
7 C3F6 ヘキサフルオロプロピレン 34 HF フッ化水素
8 C3F8 オクタフルオロプロパン 35 HI ヨウ化水素
9 C3H8 プロパン 36 Kr クリプトン
10 C4F6 ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン 37 N2 窒素
11 C4F8 オクタフルオロシクロブタン 38 N2O 亜酸化窒素
12 C5F8 オクタフルオロシクロペンテン 39 Ne ネオン
13 CCL4 カーボンテトラクロライド 40 NF3 三フッ化窒素
14 CF4 テトラフルオロメタン 41 NH3 アンモニア
15 CH2F2 ジフルオロメタン 42 NO 一酸化窒素
16 CH3F モノフルオロメタン 43 O2 酸素
17 CH3OH メタノール 44 PH3 ホスフィン
18 CH4 メタン 45 SF6 六フッ化硫黄
19 CHF3 トリフルオロメタン 46 Si2H6 ジシラン
20 CL2 塩素 47 SiCL4 テトラクロロシラン
21 CLF3 三フッ化塩素 48 SiF4 四フッ化シラン
22 CO 一酸化炭素 49 SiH(CH3)3 トリメチルシラン
23 CO2 二酸化炭素 50 SiH2CL2 ジクロロシラン
24 F2 フッ素 51 SiH4 モノシラン
25 F2+Ar+Ne フッ素+アルゴン+ネオン 52 SiHCL3 トリクロロシラン
26 F2+Kr+Ne フッ素+クリプトン+ネオン 53 WF6 六フッ化タングステン
27 GeH4 ゲルマン 54 Xe キセノン

シリンダーキャビネット仕様

シリンダーキャビネットの基本構造

シリンダーキャビネットの基本構造

安全オプション一覧

No. 災害・トラブル
要因
供給装置 No. 災害・トラブル
要因
供給装置
1 地震 耐震実験結果 30 液化 温調システム
2 耐震金具 31 希釈空気(結露防止)
3 容器固定治具 32 ミストセパレーター
4 感震器 33 閉塞 ベントライン圧力監視
5 火災 火災検知器(UV-IR) 34 安全弁
6 容器散水弁 35 ガス切れ 圧力計
7 感煙感温センサー 36 重量計
8 支可燃筺体分離 37 自動切替
9 温調自己制御 38 腐食 充填管腐食(N2ブロー)
10 逆流防止、プレッシャースイッチ 39 Oリング選定
11 N2架台分離 40 パシベーション
12 配管電気筺体分離 41 パージ
13 容器仕切板 42 停電・瞬停・落雷 無停電電源(UPS)
14 漏洩 ガス検知器 43 ツェナーバリア
15 微差圧計の設置 44 故障 バルブ寿命
16 筺体・筺体排気 45 PLCリダンダントシステム
17 自動気密・サイクルパージ 46 盗難 監視モニター
18 ベント除害 47 鍵(キーロック)
19 ベント希釈 48 ヒューマンエラー タッチパネル対話式
20 DEEPパージ/CROSSパージ 49 ガス銘板表示
21 エアラインマスク 50 ドアクローザー
22 ボンベ交換時リスク 51 バルブ開閉表示
23 流量超過スイッチ(EFS) 52 総合 日常点検
24 圧力計 53 フェールセーフ機構
25 容器本弁遮断 54 パトライト・ブザー
26 防爆 安全窓 55 インターロック
27 Zパージ 56 SEMI規格仕様
28 接地(アース)  
29 爆風放散板  

操作画面(Main Menu)

操作画面(Main Menu)

シリンダーキャビネット外観図

シリンダーキャビネット外観図

BSGS外観図

BSGS外観図

SEMI-S2仕様シリンダーキャビネットの構造

ドアクローザー ・扉全開位置で固定できること。
・操作窓も自動閉鎖すること。
ハンドル ・大扉、操作窓共にラッチ式であること。
・大扉、操作窓共に施錠可能であること。
EMO ・取付位置は床より1,000mm
・スイッチガードを用いること。
PLシール ・ガス特性のPLシールを貼り付けること。
貼付場所は操作窓左、制御系BOX
配管系筐体板金 ・筐体、扉共に板厚2.3mmとする。
制御系筐体板金 ・筐体、扉共に板厚2.3mmとする。
ガスケット ・配管筐体と大扉、大扉と操作盤の当り面にはガスケットを貼り付けること。
SEMI-S2仕様シリンダーキャビネットの構造

お客様のニーズに応えるカスタマイズ対応

当社標準の全自動シリンダーキャビネットCC2000Sの他にも、お客様の様々なご要求に対応した供給システムの検討・提案・製作が可能です。

半自動はもちろん、価格メリットのある完全手動タイプのシリンダーキャビネットにも実績がございます。

供給装置をご検討の際は、お客様の価格と仕様のバランスを考慮し、お客様だけの最適な機種の提案・製作をいたします。

是非ともご検討ください。

シリンダーキャビネットの耐震実験(動画)

シリンダーキャビネットおよびシリンダー架台の耐震性能を確認するため、実機検証を行いました。

関連商品

薬液/スラリー供給装置

スラリー液を並列供給方式により安定供給します。スラリー液、酸化剤の高精度な調合機能、濃度管理システムの他、各種豊富なオプション機能を追加できます。

シリンダーキャビネットのプレゼン資料(PDF)を資料ダウンロードのページに掲載しています。

下記リンクよりダウンロードできます。

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お問い合わせ

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下記のフォームよりお願いします。

シリンダーキャビネットに関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(機器・装置事業部)
TEL : 044-435-5863(直通)
東横化学株式会社(事業開発室 事業開発部)
TEL : 044-435-5858(直通)