ガスパネル/ガスボックス(VMB/VMP)

概要

当社では、ガス取り扱いのノウハウを生かし、長年に亘り、Epi装置、MOCVD用原料供給装置を始めとした各種ガスパネル/ガスボックスの設計・製作のご依頼に対応して参りました。
これまでの実績を生かし、ユーザー様のご要望(価格、仕様)に合わせた、オーダーメイドのガスパネル/ガスボックスが提供可能です。
通常のガス供給に加えて、液化ガスのバブリング送気にも対応いたします。
また、各種法令による届出申請のお手伝いもいたします。

特徴

  • ご要望に併せたシステム設計
  • 制御系を含めた独立制御システム
  • 各種法令順守・各種申請対応
  • 小型~大型まで対応可能

VMB/VBP

ガスを必要とする生産装置やチャンバーに、ガスを分岐して供給するための設備です。
VMB…valve manifold box VMP…valve manifold panel

VMB/VBP

設備導入メリット

供給先を増設したり削減する場合でも、VMBの2次側で配管の増設施工や撤去作業を行うことができるため、他の供給先に影響を与えることがありません。

設備導入メリット

1台の供給装置から、複数の生産装置やチャンバーへガスを分岐供給することができるため、供給装置台数を削減することができます。

設備導入メリット

ある一つの供給先でガス漏洩が発生した場合、対象となるVMBのポートだけを遮断することができます。供給元のシリンダーキャビネットを遮断する必要が無いため、他の装置への供給は持続され、ガス漏洩の影響を最小限の範囲に留めることができます。

設備導入メリット

■主な機能

  • N2パージ
  • ポート遮断
  • 圧力調整
  • VGベント
  • 圧力監視
  • 増設ポート

タイプ別構成方法

ノーマルボックスタイプ

ノーマルボックスタイプ

ツールガスボックスタイプ

ツールガスボックスタイプ

バックアップタイプ

バックアップタイプ

マルチガスタイプ

マルチガスタイプ

ガスパネル/ガスボックス(VMB/VMP)に関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(事業開発室 事業開発部)
TEL:044-435-5858(直通)