集積ガスシステム(IGS対応) 圧力調整器
特長
- 半導体製造装置、設備など超高純度ガス供給用途に対応。
- 集積化ガスシステム(IGS)に対応。
- SUS316L(ダブルメルト)材質を使用。
- 小流量から大流量(200slpm)、腐食性用、絶対圧用など豊富な品揃え。
- 外部メタルシール構造
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用途 | 接続 | シリーズ(PDFカタログ) | |
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AP/SL | 集積ガスシステム(IGS)対応 |
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