集積ガスシステム（IGS対応） 圧力調整器
特長
- 半導体製造装置、設備など超高純度ガス供給用途に対応。
- 集積化ガスシステム（IGS）に対応。
- SUS316L（ダブルメルト）材質を使用。
- 小流量から大流量（200slpm）、腐食性用、絶対圧用など豊富な品揃え。
- 外部メタルシール構造
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IGS_AP20シリーズ
IGS_AP20シリーズ
IGS_AP500シリーズ
（1.125Wシール）
IGS_AP500シリーズ
（1.125Wシール）
IGS_SL5200シリーズ
（1.5Wシール）
IGS_SL5200シリーズ
（1.5Wシール）
IGS_SL5200シリーズ
（1.5Bシール）
IGS_SL5200シリーズ
（1.5Bシール）
仕様およびPDFカタログダウンロード
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| 用途 | 接続 | シリーズ（PDFカタログ） | |
|---|---|---|---|
| AP/SL | 集積ガスシステム（IGS）対応 | ||
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東横化学株式会社（機器・装置事業部 機器部）
TEL : 044-435-5860（直通）