オンデマンド フルオートFOUP/キャリア洗浄機
M800 - on demand full auto FOUP/FOSB cleaner
M800はM300/M600で培ったボックス洗浄の経験を元に、新しいコンセプトで開発された完全自動タイプのFOUP洗浄機です。
オンデマンド（単一処理）方式の採用による待ち時間無しの洗浄を実現。バキュームチャンバーを有しており、洗浄後ワークに堆積している水分・VOCといった不純物を除去する事が可能です。
FOUPの分解・組立（PODとDOOR）、ロボットによるチャンバーへのロード、アンロードといった一連の作業全てをClass1ミニエンバイロメントにて行います。またOHT、SECS/GEMSインターフェースに対応しており、完全無人化対応。お客様の生産活動を支えます。
- 完全に自動化、オンデマンド（単一）処理
- 処理能力に応じて選択可能なチャンバー構成
- マニュアルオペレーション可能
- Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
- ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
- 完全乾燥、脱ガス処理を実現するバキュームシステム
- SECS / GEMインターフェース対応
- OHTインターフェース対応
システム構成
処理能力に応じて洗浄チャンバー、バキュームチャンバーの構成を選択する事が可能、これに搬送ロボット、3つのOHTポート、1つのマニュアルロードポートを加えたシステム構成となります。洗浄チャンバーは3、2つ、バキュームチャンバーは2、1つより選択できます。
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KUKA搬送システム
産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。
OHTポートへのアクセス
洗浄チャンバーへのロード
アプリケーション
- FOUP
- Auto Door FOSB （Manual Doorは未対応）
その他ご希望のワークがございましたら、ご相談下さい。
洗浄・乾燥
FOUPがぴったり1つはまるコンパクトな洗浄チャンバー内に備えられた多数のノズルで至近距離から純水をスプレーする事でFOUP本体、ドア内側の洗浄を行います。
乾燥はHOTエアスプレー＋IRヒーターの輻射熱により行います。処理中、FOUP本体をゆっくり回転させる事で隅々までスプレーが到達するようになっております。
バキュームプロセス
FOUP脱ガスシステム（AUD）で紹介しているバキュームシステムを備えております。
処理は大きく3ステップに分かれます。
①真空引き→②IRヒーター加熱での真空引き→③N2置換（大気へ）
これによりウェハー、FOUPからのアウトガス、クリーンルーム中のAMCといった汚染源をFOUPより除去します。
VOCの除去率は90%以上、その効果は6週間継続するといったデータも出ております。
酸（HF、HCL、HBｒ）、アルカリ（NH3）、有機物、VOC等これに加えクリーンルーム内のエアーにもこれら汚染源が存在しており、最先端生産ラインではこれらの問題にどう対応していくかが求められております。M800は最終乾燥（脱ガス）処理を行う事でこれらの問題をすべて解決します。
キャリア洗浄機に関する電話でのお問い合わせ
東横化学株式会社（機器・装置事業部 機器部）
TEL : 044-435-5860（直通）