セミオートFOUP/キャリア洗浄機

M300 - semi auto FOUP/carrier cleaner

M300はコンパクトでありながら一度に大量のワークを処理可能なセミオートタイプのFOUP/キャリア洗浄機です。ウェハーキャリア、SMIF POD、各種搬送ボックス、300mm用FOUP、FOSB、RSPと様々なワークに対応可能です。チャンバー内のカラムと呼ばれる棚状の枠内に取り付けられたインサートへワークをセットし、回転させながら洗浄、乾燥を行うバッチ処理型の洗浄乾燥装置です。各ワークごとにインサートの形状は異なり、このインサートはワンタッチで交換が可能なため、対象ワークの切替も容易に行えます。

ハイキャパシティ／スモールフットプリント
ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
完全乾燥を実現するIRヒーターシステム
インサートのワンタッチ交換による各種ワークへの対応
ローコストオブオーナーシップ

洗浄

装置内に搭載されている純水加熱器にて加熱された純水、常温の純水をワークにスプレーします。またオプションにより界面活性剤の添加も可能です。
スプレーノズルはチャンバーの外側、内側に付いており、ワークに的確にスプレーします。洗浄ノズルは3ゾーンに分かれており、これらスプレーのON/OFFを設定可能です。温純水、純水、回転数、スプレーゾーンといったパラメータを任意に設定し洗浄ステップを構築する事で、ワークを確実に洗浄します。
300mmFOUP、FOSBに対してはその内部をより至近距離からスプレー洗浄するため、スウィングアームスプレーノズルを装備。

純水スプレーノズル

ワークに合わせてノズル向きを調整可能

FOUP/FOSB内部を確実にスプレーするための
スウィングアームスプレーノズル

乾燥

高速回転による遠心力＋チャンバー外側、内側に取り付けられたIRヒーターの輻射熱＋クリーンルーム内のエアーをチャンバー内へ取り込む事で発生する空気の流れによりワークを完全に乾燥させます。またワークの隅等の乾燥しにくい部分については、洗浄ノズル同様チャンバーの外側、内側に設けられているスプレーノズルからCDA/N2をスプレーし、乾燥を促進させる事も可能です。回転数は±200rpm程度となります。