ホッパーやタンク、配管内にエアーパルスを噴射し閉塞した粉体に流動性を与え、粉体の詰まりを解消します。
キャリア、ボックス、SMIF POD、RSPから300/450mm用のFOUP、FOSB、MACまで、あらゆるタイプのワークを洗浄、乾燥可能です。
自動車用のセンサ部品(医療機器・分析機器・産業用機器対応)の、複合(圧力・湿度・高温・低温・振動)サイクル試験機器です。