ドライ真空ポンプ（樫山工業）

SDEシリーズ／MUシリーズ／NeoDryシリーズ

ドライ真空ポンプ（またはドライポンプ）は排気経路にオイル成分を用いない真空ポンプでクリーンな排気を目的に使用されます。
排気可能な圧力領域は大気圧から数Paでロータリーポンプ（油回転ポンプ）と近い領域ですが、不純物を嫌うプロセスを中心に大きな導入効果を発揮します。
樫山工業のドライ真空ポンプは、「スクリュー型」及び「多段ルーツ型」で粉塵や部品の摩耗がない非接触式を採用したポンプで、優れた排気性能・耐久性・省エネ性を誇ります。

樫山工業製 ドライ真空ポンプ ラインナップ

詳細な仕様説明がカタログにございます。 是非ダウンロードして、内容をお確かめください！

樫山工業は半導体製造装置向けのドライ真空ポンプメーカーとして日本国内シェア１位の実績を誇ります。 半導体・太陽電池・フィルム・電池・電子部品を始めとしたハイテク製品向けから自動車・食品・工業用ガス・一般産業に至るまで幅広い分野での真空を生み出すニーズをカバーできる性能と耐久性を持っています。 CVD・スパッタ・蒸着・アッシャー・乾燥・搬送・脱泡・貼り合わせ・リーク検査・断熱など真空に関わる様々な装置に組み込む事が可能です。

ドライ真空ポンプに関する電話でのお問い合わせ

東横化学(株)　機器・装置事業部 機器部
TEL：044-435-5856(直)　FAX：044-434-9091