ロータリーポンプ（油回転ポンプ）

ロータリーポンプ（油回転ポンプ）は、大気圧である10⁵Pa（約100,000Pa）から10^-1Pa（0.1Pa）台までの低真空と呼ばれる圧力領域で活躍する真空ポンプで、真空装置や真空のプロセスに欠かせない真空機器です。
フランスのadixen(アディクセン)社のロータリー真空ポンプPASCALシリーズは、旧社名アルカテル時代より日本国内では長く親しまれてきた信頼性の高い真空ポンプです。adixen社のポンプは、現在ドイツのファイファーバキューム（PFEIFFER VACUUM）が親会社となり、全世界で販売されています。

真空機器ロータリーポンプ（油回転ポンプ）

＜特徴＞

標準型「SD」、静音型「I」、ケミカル型「C1」、ケミカルプロセス型「C2」の4種類のモデルがあり、排気速度やプロセスに合わせて機種を自由に選択できる
モーターにはサーマル保護回路を標準搭載。単相モーター仕様では低電圧(LV)/高電圧(HV)の切換えスイッチを搭載
豊富なオプション群でポンプの保護も万全・世界各国での保守が受けられる(2014年時点68ヶ国)

詳細な仕様説明がカタログにございます。是非ダウンロードして、内容をお確かめください！

ロータリーポンプ（油回転ポンプ）PDFカタログ(681KB）

SDシリーズ（標準型）

ライトプロセス用途に適した標準型の真空ポンプで、半導体、電子部品、一般工業・研究開発用に幅広く使用されています。小型で扱いやすく、逆止弁・低オイルミスト排出等の数多くの特徴を有しています。
他のシリーズに比べオーバーホール費用などの維持費も低く設定されています。

Iシリーズ(高性能、静音型)

分析機器用に開発された静粛性が高く低振動が特徴のポンプです。遠目に見たらポンプが動いている事が分らないくらい静かなポンプです。分析装置全般のみならず、高い信頼性と低騒音が要求される各種用途に使用されます。
ＳＤシリーズと同じく非腐食性ガスを排気する用途でご使用ください。

C1シリーズ(腐食性ガス対応ケミカル型)

腐食性ガスの排気用として耐性を持つように設計されたポンプでシール材にバイトンを使用、ステンレスを多用し、活性なガスに対し耐久性が備わった構造となっています。
2033/2063に限りケース内の窒素パージ機能とオイル濾過フィルターが備わっています。

C2シリーズ(腐食性ガス対応ケミカルプロセス型、フォンブリンオイル仕様)

各種半導体製造プロセスやケミカルプロセスで、腐食性ガス、反応性ガスを排気するように設計されたポンプです。オイルは化学的に安定し不燃性である「フォンブリンオイル(フッ素油)」を使用します。塩素系、アンモニア、特殊高圧ガスのような腐食性ガスや酸素を始めとする燃焼・発火性ガスの排気にご使用いただけます。
各サイズとも窒素パージ機能やオイル内に溶け込んだガスを気泡で追い出すバブラー機能を有しています。