SiCパワーデバイス熱処理装置
SiCパワーデバイス用 超高温熱処理装置シリーズ
低炭素社会の実現に向け製品化が加速しているSiCパワーデバイス。
東横化学は独自の超高温熱処理技術を応用し2000年からSiCパワーデバイス装置の開発に取り組み、その長年培った技術と最先端技術を結集、高品質、高性能な熱処理性能を実現しました。
当社“Ailesic”（エールシック）シリーズ熱処理装置は、SiCパワーデバイスの性能を飛躍的に向上させるとともに安定した量産に貢献します。
活性化アニール装置 Ailesic-2000Ⅱ
特長
- 最高温度2000℃までのSiC活性化アニールに対応
- 新開発ヒーティング技術により超急速昇降温特性を実現 ⇒ お客様の小ロット短時間処理のニーズにも対応
- 同ヒーティング技術、及び、高精度温度制御技術により安定したプロセス性能を実現 ＝ 安定生産に寄与
- 開発から200mmウェハー高スループット量産までの豊富なラインナップ
- 量産工場での良好な運用実績
アプリケーション
- 活性化アニール （N2、Ar）
- オプション （H2）
熱処理装置 Ailesic-1400Ⅱ/1500Ⅱ/X1700
特長
- 最高温度1400℃/1500℃/1670℃のSiC超高温熱処理に対応 （*オプション設定、標準仕様：最高温度≦1400℃）
- All-CVD SiC治具の使用による金属汚染リスクの回避
- 高純度/高真空/高温プロセスにおける急速昇降温に対応
- 独自開発長寿命ヒータ/炉内治具により大幅なランニングコスト低減を実現
- 開発から200mmウェハー高スループット量産までの豊富なラインナップ
- 長年に亘る豊富な納入実績、及び、量産運用実績
アプリケーション
- 酸化 （O2）
- Post Oxidation Anneal（N2O、NO）
- アニール （N2、Ar）
- オプション （H2）
関連製品
SiC活性化アニール装置・熱処理装置・R&D用熱処理装置の種類・構造・価格・大型小型、疑問等、何でもお問い合わせください。
当社では、SiC活性化アニール装置 SiCパワーデバイス 超高温熱処理装置以外でも、様々な機器、装置、工事関係やサービスを取り扱っております。
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