ガスパネル／ガスボックス（VMB/VMP）
概要
当社では、ガス取り扱いのノウハウを生かし、長年に亘り、Epi装置、MOCVD用原料供給装置を始めとした各種ガスパネル/ガスボックスの設計・製作のご依頼に対応して参りました。
これまでの実績を生かし、ユーザー様のご要望(価格、仕様)に合わせた、オーダーメイドのガスパネル/ガスボックスが提供可能です。
通常のガス供給に加えて、液化ガスのバブリング送気にも対応いたします。
また、各種法令による届出申請のお手伝いもいたします。
特徴
- ご要望に併せたシステム設計
- 制御系を含めた独立制御システム
- 各種法令順守・各種申請対応
- 小型～大型まで対応可能
VMB/VMP
ガスを必要とする生産装置やチャンバーに、ガスを分岐して供給するための設備です。
VMB…valve manifold box VMP…valve manifold panel
設備導入メリット
供給先を増設したり削減する場合でも、VMBの２次側で配管の増設施工や撤去作業を行うことができるため、他の供給先に影響を与えることがありません。
1台の供給装置から、複数の生産装置やチャンバーへガスを分岐供給することができるため、供給装置台数を削減することができます。
ある一つの供給先でガス漏洩が発生した場合、対象となるVMBのポートだけを遮断することができます。供給元のシリンダーキャビネットを遮断する必要が無いため、他の装置への供給は持続され、ガス漏洩の影響を最小限の範囲に留めることができます。
主な機能
- N2パージ
- ポート遮断
- 圧力調整
- VGベント
- 圧力監視
- 増設ポート
タイプ別構成方法
ノーマルボックスタイプ
ツールガスボックスタイプ
バックアップタイプ
マルチガスタイプ
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