濃度管理ユニット
スラリー液中の過酸化水素濃度を測定し濃度を一定に保持
- 過酸化水素入りのスラリー液を自動サンプリングし電位差滴定法により濃度を検出
- 検出濃度により不足過酸化水素量を算出し補充管理
濃度管理ユニットの特徴
- 2つの測定セルが測定時間の短縮および測定結果の信頼性を大幅に向上
- 測定精度±0.01wt%以下(過酸化水素1.0%溶液にて)
- スラリー液量が不明でも測定を重ね正確な補充を実現
- 追加調合精度±0.05wt%以下(過酸化水素1.0%溶液にて)
- 特殊ブロック弁の採用により複数ラインのサンプリング測定が可能
- タッチパネル操作により各種設定項目を容易に変更
- 測定結果の外部出力が可能(オプション)
- 接続配管は各種メーカー継手に対応
濃度管理ユニットの仕様
標準タイプ(3ライン測定)
- 1. 滴定装置(2セル) + 補充機能付き
- 2. 滴定装置(2セル)
- 3. 滴定装置(1セル)
仕様
- 筐体材質 : SUS
- 外形寸法 : 500mm×900mm×1,800mm (排気部を含む)メンテ方向 前面+左右どちらかの側面
- スラリーライン : 3系統(標準)
- 測定方法 : 電位差滴定法
オプション
RS-232Cデジタル出力
アナログ出力(4-20mA)
測定データー出力(CSV形式)
アナログ出力(4-20mA)
測定データー出力(CSV形式)
用力
- 純水 : 2L/min最大
- 窒素 : 2L/min最大(0.3MPa以上)
- 乾燥空気 : 1L/min(0.5MPa以上)
- 過酸化水素 : 2L/min最大(補充のある機種)
- 電気 : AC100V 15A
- 排気 : 75φ
- 排液 : 2L/min
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