精製装置/除害装置
精製装置
エレクトロニクス工場に必須の高純度ガス精製装置です。 当社は様々な精製装置メーカー・精製方式の中から、お客様に最適なものをご提案しております。長年のガスのハンドリングの経験を充分に活かし、豊富な精製装置のノウハウをお客様に提供いたします。
NH3、HCl等の特殊材料ガス用精製装置、ArF液浸型ステッパ用エア及びN2精製装置も販売しています。
■除去対象 N2、O2、CO、CO2、CH4、H2、H2O、Particle
■保証値 1ppb 以下
NH3、HCl等の特殊材料ガス用精製装置、ArF液浸型ステッパ用エア及びN2精製装置も販売しています。
■除去対象 N2、O2、CO、CO2、CH4、H2、H2O、Particle
■保証値 1ppb 以下
除去対象・保証値は精製方式、精製ガス、除去対象により異なりますので検討条件により最終保証条件を決定します。
除害装置
除害装置は、大気汚染による環境破壊を防止するための設備です。 具体的に以下の目的があります。
*毒性ガスの無害化処理
*可燃性ガスの安全な排出
*地球温暖化ガスの分解処理
*生産設備排出副生成物の無害化・処理
除害の処理方法には、燃焼式・加熱分解式・湿式・触媒式プラズマ分解式・吸着式等の方法があります。当社では長年のガス・半導体業界での経験を活かし、お客様の条件にあった除害処理設備を選定し、環境含めた問題解決のご提案をいたします。
*毒性ガスの無害化処理
*可燃性ガスの安全な排出
*地球温暖化ガスの分解処理
*生産設備排出副生成物の無害化・処理
除害の処理方法には、燃焼式・加熱分解式・湿式・触媒式プラズマ分解式・吸着式等の方法があります。当社では長年のガス・半導体業界での経験を活かし、お客様の条件にあった除害処理設備を選定し、環境含めた問題解決のご提案をいたします。
エレクトロニクス産業別による分類
除害処理方法による分類
除害装置の用途による分類
１、生産設備用除害装置・・・生産設備排出ガスの処理
２、C/C VENT除害装置・・・ボンベ交換時の残ガス処理
３、緊急除害装置・・・供給設備内ガス漏洩時の緊急処理
評価手法
お客様の立場にたって、下記評価手法を用い、最適な除害システムを構築・ご提案していきます。
TCO(トータルコストオーナーシップ)手法によるコストバランス評価
除害装置本体価格、5年間の主要用力費用、5年間のメンテナンス部品費用を処理単価(円/100L)に換算し、発生すると想定できる費用面での評価を行います。
性能技術面に関する評価
除害装置の最大処理能力・保証条件・腐食に対する対策・粉体発生に対する対策・お客様の設置条件を考慮し性能面での評価を行います。
安全・安定稼働に関する評価
除害装置のメンテナンス体制・周期・方法・導入後実績等、連続稼働に関係する検討評価及び処理ガスの性質を考慮した安全運用に関する検討評価を行います。
除害装置/精製装置に関する電話でのお問い合わせ
東横化学株式会社（ガスソリューション事業部）
TEL ： 044-435-5858（直通）