トリクロロシラン(TCS)気化供給設備
エピタキシャルシリコン成長装置向け、トリクロロシラン(TCS)気化供給装置で、蒸発器と凝縮器から構成される単蒸留装置です。精密な定圧制御装置を付加し高度に濃度制御されたトリクロロシラン/水素混合ガス(TCS/H2)を発生させます。
外観
内部構造
特徴
- 1～3chへの安定供給が可能で、それぞれ任意のタイミングで稼働させることができます。
- 18~32%TCS/H2で任意に濃度設定が可能です。
- 濃度安定性が非常に高く、Epi成長速度がバッチ間で安定します。
- 圧力容器とならないコンパクトデザイン。
- 少量危険物基準以下
主な仕様
| TCS/H2供給能力 | 1ch~3ch用 | |
|---|---|---|
| 構成 | 蒸発器：SUS316L ジャケット式熱交換器/シェルアンドチューブ型熱交換器 凝縮器：SUS316L シェルアンドチューブ型熱交換器 定圧制御機器 不活性溶媒恒温循環装置 |
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| 運転条件 | 制御圧力：0.09～0.17MPa(G) 蒸発器温度：25℃～40℃の任意温度 凝縮器温度：10℃～20℃の任意温度 発生混合気濃度：上記条件の組合せで18～32% |
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| 運転モード | 手動モード 自動立上モード 自動供給モード 自動立下モード メンテナンスモード |
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| 消防法 | 適用外 | 本装置に滞留するTCSは指定数量の1/5以下 |
| 労働安全衛生法 | 適用外 | PV≦0.001 P: MPa（制御圧力） V: m3（蒸発器容積） |
| 高圧ガス保安法 | 届出（水素使用時） | |
※トリクロロシランはTCS、SiHCl3、三塩化シランとも呼ばれます。
カタログ
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東横化学株式会社（事業開発室 技術開発チーム）
TEL:044-435-5878（直通）