液体材料供給装置
商品概要
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対応流体
TEOS , TiCl4 , MTCS , TCS(SiHCl3) , DEZn , GeCl4 , TEB , SiCl4 , SnCl4 等
供給システム
自動切替タイプ
液量管理による自動2本切替方式
ロードセルによる液量管理で自動切替を行い、連続供給を可能にします。
自動補充タイプ
液量管理による自動補充方式
バルクタンクとプロセスタンクを収納し、プロセスタンクの液量を管理することで連続供給を可能にします。
特徴
送液圧力を一定にコントロール
減圧弁と背圧弁を組み合わせ、送液圧力を一定にします。
液体材料へのガス溶解の抑制
圧送ガスとパージガスを別系統にし、液体に溶存し難いガスで圧送します。
重量/圧力管理システム
圧力トランスミッタにて、圧送ガス圧力、送液圧力を監視し、ロードセルにて各タンク内の残液量を監視します。
自動サイクルパージ
パージガスによる加圧と真空引きを設定回数繰り返します。
自動リークチェック
タンク交換後にはパージガスで気密チェックを行います。
パラメータ設定機能
各種パラメーターを設定することが可能です。
遠隔操作対応 | 通信装置を搭載することにより、遠隔操作が可能となります。 |
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真空計による残液確認機能 | 自動サイクルパージ後に真空計指示値をチェックし、残液の有無を判定します。 |
脱気機能 | 送液ラインに脱気装置を取り付けることで、溶存ガスを取り除くことが可能となります。 |
供給システム例
集中供給システム例
1つの液体供給装置から複数の液体供給装置へ分配供給し、お客様の装置に送液します。
供給装置数を集約することにより、管理の簡素化、タンク交換作業の工数削減を通じてフットプリントの削減、コストダウンを可能にします。
![集中供給システム例](/product/contents_img_002%20%2810%29.jpg)
個別供給システム例
ユニット内にバルクタンクとプロセスタンクを搭載し、お客様の装置に送液します。
2種類のタンクを1つに収納することで、コンパクトかつコストダウンを可能にします。
![個別供給システム例](/product/contents_img_003%20%287%29.jpg)
装置参考外観
![集中供給システム(バルクタンク収納)](/product/contents_img_008%20%282%29.jpg)
(バルクタンク収納)
![集中供給システム(プロセスタンク収納)](/product/contents_img_009%20%283%29.jpg)
(プロセスタンク収納)
![個別供給システム 例1](/product/contents_img_010%20%282%29.jpg)
例1
![個別供給システム 例2](/product/contents_img_011%20%282%29.jpg)
例2
気化供給システム
液体材料供給装置と気化供給システムを組み合わせることで、安定した濃度で気化供給を行います。
当社では気化供給システムの設計・製作も行っております。
![気化供給装置](/product/c4f7867baed3c9e6ee4ca644c6b5338b5bf91635.jpg)
![気化供給システム](/product/contents_img_005%20%286%29.jpg)
参考外観図
![液体材料供給装置 外観図](/product/c6cfd9f9e4018fdb29164dfa862382c09d86bd6a.jpg)
液体材料供給装置に関する電話でのお問い合わせ
東横化学株式会社(ガスソリューション事業部)
TEL:044-435-5858(直通)