液体材料供給装置
商品概要
対応流体
TEOS , TiCl4 , MTCS , TCS(SiHCl3) , DEZn , GeCl4 , TEB , SiCl4 , SnCl4 等
供給システム
自動切替タイプ
液量管理による自動2本切替方式
ロードセルによる液量管理で自動切替を行い、連続供給を可能にします。
自動補充タイプ
液量管理による自動補充方式
バルクタンクとプロセスタンクを収納し、プロセスタンクの液量を管理することで連続供給を可能にします。
特徴
送液圧力を一定にコントロール
減圧弁と背圧弁を組み合わせ、送液圧力を一定にします。
液体材料へのガス溶解の抑制
圧送ガスとパージガスを別系統にし、液体に溶存し難いガスで圧送します。
重量/圧力管理システム
圧力トランスミッタにて、圧送ガス圧力、送液圧力を監視し、ロードセルにて各タンク内の残液量を監視します。
自動サイクルパージ
パージガスによる加圧と真空引きを設定回数繰り返します。
自動リークチェック
タンク交換後にはパージガスで気密チェックを行います。
パラメータ設定機能
各種パラメーターを設定することが可能です。
| 遠隔操作対応 | 通信装置を搭載することにより、遠隔操作が可能となります。 |
|---|---|
| 真空計による残液確認機能 | 自動サイクルパージ後に真空計指示値をチェックし、残液の有無を判定します。 |
| 脱気機能 | 送液ラインに脱気装置を取り付けることで、溶存ガスを取り除くことが可能となります。 |
供給システム例
集中供給システム例
1つの液体供給装置から複数の液体供給装置へ分配供給し、お客様の装置に送液します。
供給装置数を集約することにより、管理の簡素化、タンク交換作業の工数削減を通じてフットプリントの削減、コストダウンを可能にします。
個別供給システム例
ユニット内にバルクタンクとプロセスタンクを搭載し、お客様の装置に送液します。
2種類のタンクを1つに収納することで、コンパクトかつコストダウンを可能にします。
装置参考外観
（バルクタンク収納）
（プロセスタンク収納）
例1
例2
気化供給システム
液体材料供給装置と気化供給システムを組み合わせることで、安定した濃度で気化供給を行います。
当社では気化供給システムの設計・製作も行っております。
参考外観図
液体材料供給装置に関する電話でのお問い合わせ
東横化学株式会社（ガスソリューション事業部）
TEL:044-435-5858（直通）