ガス・薬液供給システム

薬液供給装置・スラリー供給装置

半導体製造におけるCMPプロセスに係わるスラリー供給装置および薬液供給装置を製造販売しています。

ガスを安全・安定に供給する設備で、お客様のニーズやガスの性質を考慮し適切な供給形態を構築します。

ガス取り扱いのノウハウを生かし、各種ガスパネル/ガスボックスの設計・製作を行っています。

ヘリウム（He）混合ガスを回収、再利用します。豊富なバリエーションで最適な機種を提案します。

蓄積された豊富なノウハウから、お客様の利用されるガス条件に合わせて最適な製品をご提案いたします。

可燃性・毒性ガスの漏洩を監視するガス検知器の設置や、ガスの安全・安定供給を監視・管理するためのガス監視システムを構築します。

特殊材料ガスを使用する装置に関して、装置接続関係の付帯工事（配管工事等）を一式で請け負って作業を行います。

WEBブラウザでプラント情報を遠隔操作・管理が可能なHMI/SCADA監視制御ソフトウェア（iFIX）を取り扱っています。

エピタキシャルシリコン成長装置向け、トリクロロシラン(TCS)気化供給装置です。蒸発器と凝縮器から構成される単蒸留装置です。

液体材料をお客様の装置に安全かつ安定して供給する設備で、個別供給・集中供給どちらのシステムでも対応可能です。

特殊な多孔質構造の吸着剤で、除湿、ガス精製・回収、VOC除去、クリーンルーム環境の改善等、お客様のニーズに合わせた最適なシステムを提案します。