ガス一覧（ガスの物性）
SiH4 モノシラン
ガス名
モノシラン[Monosilane]
CAS No.
7803-62-5
UN No.
2203
化学式
SiH4
分子量
32.118
外観
無色・有臭の気体
ガス比重
1.114（20℃, 1atm, Air = 1）
ガス密度
1.342（20℃, 0.1MPa）kg/m3
液密度
0.556（-111.5℃, 0.1MPa）kg/L
融点
-185.0℃
沸点
-111.5℃
蒸気圧
1.01（-111.5℃）MPa
引火点
自然発火性
発火点
室温以下
蒸発熱
2.63（-111.4℃）kcal/mol
比熱
ー
燃焼範囲
1.35～100vol%
許容濃度
TLV-TWA = 5ppm
注記
自然発火性
GHS分類
SiH4 モノシラン(PDF454KB)
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