ガス一覧（ガスの物性）
SiF4 四フッ化ケイ素
ガス名
四フッ化ケイ素[Tetrafluorosilane]
CAS No.
7783-61-1
UN No.
1859
化学式
SiF4
分子量
104.08
外観
無色・刺激臭の気体
ガス比重
3.63（20℃, 0.1MPa, Air = 1）
ガス密度
4.67（0℃, 0.1MPa）kg/m3
液密度
1.59（-80℃）kg/L
融点
-86.8℃
沸点
-94.8℃
蒸気圧
3.72（-14.2℃）MPa、9.66（21.1 ℃）MPa
引火点
なし （不燃性）
発火点
なし （不燃性）
蒸発熱
3.55（-86.8℃, 0.22MPa）kcal/mol
比熱
17.59（25 ℃）cal/mol・K
燃焼範囲
なし（不燃性）
許容濃度
TLV-TWA = 2.5 (as F)mg/m3
注記
水の存在下でフッ化水素に分解する
GHS分類
SiF4 四フッ化ケイ素(PDF382KB)
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