セミオートFOUP/キャリア洗浄機

M300 - semi auto FOUP/carrier cleaner

M300はコンパクトでありながら一度に大量のワークを処理可能なセミオートタイプのFOUP/キャリア洗浄機です。ウェハーキャリア、SMIF POD、各種搬送ボックス、300mm用FOUP、FOSB、RSPと様々なワークに対応可能です。チャンバー内のカラムと呼ばれる棚状の枠内に取り付けられたインサートへワークをセットし、回転させながら洗浄、乾燥を行うバッチ処理型の洗浄乾燥装置です。各ワークごとにインサートの形状は異なり、このインサートはワンタッチで交換が可能なため、対象ワークの切替も容易に行えます。

  • ハイキャパシティ/スモールフットプリント
  • ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
  • 完全乾燥を実現するIRヒーターシステム
  • インサートのワンタッチ交換による各種ワークへの対応
  • ローコストオブオーナーシップ
M300 - semi auto FOUP/carrier cleaner

洗浄

装置内に搭載されている純水加熱器にて加熱された純水、常温の純水をワークにスプレーします。またオプションにより界面活性剤の添加も可能です。
スプレーノズルはチャンバーの外側、内側に付いており、ワークに的確にスプレーします。 洗浄ノズルは3ゾーンに分かれており、これらスプレーのON/OFFを設定可能です。温純水、純水、回転数、スプレーゾーンといったパラメータを任意に設定し洗浄ステップを構築する事で、ワークを確実に洗浄します。
300mmFOUP、FOSBに対してはその内部をより至近距離からスプレー洗浄するため、スウィングアームスプレーノズルを装備。

  • 純水スプレーノズル

    純水スプレーノズル

  • ワークに合わせてノズル向きを調整可能

    ワークに合わせてノズル向きを調整可能

  • FOUP/FOSB内部を確実にスプレーするためのスウィングアームスプレーノズル

    FOUP/FOSB内部を確実にスプレーするためのスウィングアームスプレーノズル

  • 洗浄

乾燥

高速回転による遠心力+チャンバー外側、内側に取り付けられたIRヒーターの輻射熱+クリーンルーム内のエアーをチャンバー内へ取り込む事で発生する空気の流れによりワークを完全に乾燥させます。 またワークの隅等の乾燥しにくい部分については、洗浄ノズル同様チャンバーの外側、内側に設けられているスプレーノズルからCDA/N2をスプレーし、乾燥を促進させる事も可能です。 回転数は±200rpm程度となります。

  • IRヒーター

    IRヒーター

  • 乾燥

設置

本装置は前面/背面にスライドドアを装備しているため、
前面にてロード→前面よりアンロード
前面にてロード→背面よりアンロード

といったスルーザウォールへも対応しております。
※レシピの編集等のメンテナンス作業は装置前面でしかできないため、必然的にロードは前面で行います。

設置

インサートの交換による各種ワークへの対応

チャンバー内に取り付けられたカラム(回転枠)の内側にインサートと呼ばれるワークを保持するための機構があります。 インサートはワンタッチで取り付け、取り外しが可能であり、ワークに合わせてこれを交換する事で洗浄対象の変更が容易に行えます。 カラム及びインサートは電解研磨SUS316L製です。

基本仕様・必要用力

装置寸法 1480mm×1280mm×2475mm
重量 1200Kg
カラム構成 4カラム - 8FOUP (一例)
※ワークにより構成は異なります
処理能力 12FOUP/hour
※ワークにより値は異なります
用力 電源 φ3 200VAC 70A 50/60Hz
CDA Swagelok 3/8" 4-7bar
N2 Swagelok 3/8" max5bar
純水 flaretek 1" max4.5bar
界面活性剤 flaretek 1/2"
排水 PVC 60mmO.D.
チャンバー排気 PVC 160mmO.D. 500m3/hour
キャビネット排気 110mmO.D.

<PDF ダウンロード> 英文カタログを掲載しています。

Adobe ReaderPDFの閲覧にはAdobe Reader(無料)が必要です。
お持ちでない方はAdobe社のサイトからダウンロードしてください。

資料ダウンロード

こちらから、製品マニュアル等の資料を
ダウンロードいただけます。

お問い合わせ

製品・資料請求に関するお問い合わせは
下記のフォームよりお願いします。

キャリア洗浄機に関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)