FOUP/キャリア洗浄機(Brooks社)

高性能FOUP/キャリア洗浄機

Brooks社のFOUP/キャリア洗浄機はキャリア、ボックス、SMIF POD、RSPから300/450mm用のFOUP、FOSB、MACまで、あらゆるタイプのワークを洗浄、乾燥可能です。セミオートタイプのM300、フルオートタイプのM600、M800、450mm対応のM450と多様なラインナップを持ち、全世界で200台以上の納入実績を誇り、お客様の製造現場で高く評価されております。

セミオート FOUP/キャリア洗浄機

M300 - semi auto FOUP/carrier cleaner

セミオートFOUP/キャリア洗浄機M300はあらゆるタイプのワーク(SMIF POD、キャリア、出荷容器、FOUP、FOSB、RSP)の洗浄、乾燥が可能です。コンパクトな装置でありながら大量のワークを一度に処理する事が可能です。

フルオート FOUP/FOSB洗浄機

M600 - full auto FOUP/FOSB cleaner

フルオートFOUP/FOSB洗浄機M600は完全に自動化されたシステムでFOUP、FOSB、RSPといったワークの洗浄、乾燥が可能です。M300で培われた洗浄、乾燥システムをそのまま継承した上でロボットによる自動化、OHTインターフェースに対応しています。

オンデマンド フルオート FOUP/FOSB洗浄機

M800 - on demand full auto FOUP/FOSB cleaner

M300/M600で培ったボックス洗浄の経験を元に、新しいコンセプトで開発された完全自動タイプのFOUP洗浄機です。オンデマンド(単一処理)方式の採用による待ち時間無しの洗浄を実現。バキュームチャンバーを有しており、洗浄後ワークに堆積している水分・VOCといった不純物を除去する事が可能です。

FOUP脱ガスシステム

AUD - advanced ultra desorber

FOUP脱ガスシステムAUD(Advanced Ultra Desorber)は洗浄、乾燥後のFOUP、FOSBの更なるクリーン化のため、最終乾燥脱ガス(脱VOC)を行う新しいシステムです。バキューム方式にてワーク内の脱ガスを実施、ウルトラクリーンを実現します。

M450 FOUP/MAC洗浄機

Brooks社では世界に先駆けて450mmFOUP/MAC対応の洗浄機を開発しております。 300mmで蓄積した技術を基に装置のスケールアップを計ります。 独自の洗浄、乾燥、脱ガスプロセスによりウルトラクリーンに対応します

M1000 EUVポッド洗浄機

次世代微細化技術のキープロダクトと言われるEUV。これの専用ポッド用洗浄機となります。 インナー、アウターポッドをそれぞれ個別の処理室にて洗浄・乾燥・脱ガス処理を実施します。 完全自動化対応しており、お客様の生産活動を支援します。

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