ボックス/キャリア

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

• Size 6" 250mil
• レチクルとの接触部最小
• 2スライドロック

レチクルボックスの材質：
ABS permastat clear

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

• レチクルとの接触部最小
• Size 6" 250mil
• ステンレスヒンジにより長寿命

レチクルボックスの材質：
Bayon

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

• Size 6" 250mil
• レチクルとの接触部最小
• コンパクトなデザインによる最小化
• 使い易く、安全なシングルロック
• 単一材料での製品化、アウトガス軽減

レチクルボックスの材質：
Bayon

9"レチクルのための出荷、保管ボックスです。

• Size 9"
• レチクルを固定する4個のクリップ
• レチクルの出し入れが容易
• 輸送による汚染無し
• 帯電防止材料

レチクルボックスの材質：
PMMA RTP clear

6"ウェハーキャリア（25スロット）

• Size 6" 25Slot
• 帯電防止材料を使用
• 非多孔質表面
• 難燃剤 UL94 V0
• ヒートプロセスへの対応
• SEMIの仕様に準拠
• 各薬液への対応

150mmウェハーキャリアの材質：
PC Polycarbonate carbon - fibre reinforced
COC

200mmウェハーの安全な輸送と保管を実現した理想的なボックスです。

• 高次元の安定性と非多孔質表面
• ヒートプロセスへの対応
• フラットボトムデザイン
• 客先、装置の特殊仕様への対応が可能です

ウェハーボックス の材質：
Polycarbonate with carbon fiber
Polypropylene with carbon powder
Polyetherimide

200mmウェハーの安全な輸送と保管を実現した理想的な枚葉ボックスです。

• シールガスケット
• シングルラッチ、セーフティロック機構、完全自動化対応

ウェハーボックスの材質：
Bayon