レチクルストッカ

フルオートボックスレチクルストッカM1900は、最大7400枚ものレチクルを保管可能です。レチクルはボックスから取り出し、静電気対策を施した専用ケースに移し変えて保管されます。
内蔵の測定ツールによりレチクルの外観検査も可能。あらゆるタイプのレチクルボックスを単一のI/Oステーションにて運用する事が可能です。

• 完全に自動化したレチクル/マスクのハンドリング
• Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
• レチクルのボックス移載機能を装備
• ヘーズの成長を防ぐN2/XCDAパージ機能
• ハイキャパシティ・スモールフットプリント
• レチクル測定ツール
• ボックス、ポッド用のバッファーステーション
• OHTインターフェース対応

セミオートボックスレチクルストッカM1900は、最大2680枚ものレチクルをボックスごと保管します。
レチクルはボックスのIDにより専用ソフトウェアで管理され入出庫、モニタ、使用履歴等をデータベース上で管理します。
これにより工場内の全てのレチクルの運用を最適化する事を実現します。

• セミオートタイプ（レチクルボックスごと保管）
• 各社レチクルボックス、RSPに対応
• ハイキャパシティ・スモールフットプリント（1.9ｍ×1.9m）
• レチクル管理システム
• 素早いロード/アンロード（検索）
• 使い易いインターフェース

セミオートボックスレチクルストッカM1500は最大1500枚ものレチクルをボックスごと保管します。
レチクルはボックスのIDにより専用ソフトウェアで管理され入出庫、モニタ、使用履歴等をデータベース上で管理します。 これにより工場内の全てのレチクルの運用を最適化する事を実現します。

• セミオートタイプ（レチクルボックスごと保管）
• 各社レチクルボックス、RSPに対応
• ハイキャパシティ・スモールフットプリント（1.5m×1.5m）
• レチクル管理システム
• 素早いロード/アンロード（検索）
• 使い易いインターフェース