”ベアストッカ”という新しい方式を採用する事でコンパクトな筐体に大量のウェハー、レチクルを保管する事を可能としたストッカ、安全且つ信頼性の高いウェハー/レチクル移載機、そして世界で多数の採用実績を持つ信頼性の高いボックス/キャリア類とそのラインナップは多岐に渡ります。
独自の保管システムで大量のレチクルを保管
安全な出荷と保管を実現した理想的なボックス
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