M600は世界中で支持を受けるセミオートタイプM300の洗浄・乾燥システムをそのままに、完全自動化を実現したフルオートタイプのFOUP洗浄機です。
M300のチャンバー機構を2つ備えた本装置は、圧倒的な処理能力を保有します。300mm用FOUP、FOSB、RSPに対応可能です。自動オープナーによりFOUPの分解・組立（PODとDOOR）、ロボットによるチャンバーへのロード、アンロードといった一連の作業全てをClass1ミニエンバイロメントにて行います。 またOHT、SECS/GEMSインターフェースに対応しており、完全無人化対応。お客様の生産活動を支えます。
M300の洗浄チャンバーを2つ持ち、これに搬送ロボット、ロード/アンロードポート、バッファステーションを加えたシステム構成となります。
下記はダブルチャンバータイプですが、洗浄チャンバーが1つのシングルチャンバータイプもございます。
産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。
ロボットによるFOUP搬送の様子
その他ご希望のワークがございましたら、ご相談下さい。
洗浄・乾燥方式は世界中で多数の実績を誇るセミオートタイプM300と同じです。
※詳細についてはM300の詳細ページをご覧下さい。
PDFの閲覧にはAdobe Reader（無料）が必要です。
お持ちでない方はAdobe社のサイト
からダウンロードしてください。
東横化学株式会社（機器・装置事業部 機器販売部）
TEL : 044-435-5860（直通）
