Brooks社のFOUP/キャリア洗浄機はキャリア、ボックス、SMIF POD、RSPから300/450mm用のFOUP、FOSB、MACまで、あらゆるタイプのワークを洗浄、乾燥可能です。セミオートタイプのM300、フルオートタイプのM800、450mm対応のM450と多様なラインナップを持ち、全世界で200台以上の納入実績を誇り、お客様の製造現場で高く評価されております。
※弊社では現在セミオート機(M300)のみを取り扱っております。フルオート機(M800)については直接メーカーへお問い合わせください。
セミオートFOUP/キャリア洗浄機M300はあらゆるタイプのワーク(SMIF POD、キャリア、出荷容器、FOUP、FOSB、RSP)の洗浄、乾燥が可能です。コンパクトな装置でありながら大量のワークを一度に処理する事が可能です。
M300/M600で培ったボックス洗浄の経験を元に、新しいコンセプトで開発された完全自動タイプのFOUP洗浄機です。オンデマンド(単一処理)方式の採用による待ち時間無しの洗浄を実現。バキュームチャンバーを有しており、洗浄後ワークに堆積している水分・VOCといった不純物を除去する事が可能です。
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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
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