四フッ化ケイ素 [Tetrafluorosilane] |
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CAS No. | 7783-61-1 | UN No. | 1859 | ||
GHS分類 | |||||
可燃性/引火性ガス 支燃性/酸化性ガス 高圧ガス 急性毒性(吸入:ガス) |
:区分外 :区分外 :液化ガス :区分3 |
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化学式 | SiF4 | 蒸気圧 | 3.72(-14.2℃),9.66(21.1 ℃) | [ MPa ] | |
分子量 | 104.08 | 引火点 | なし (不燃性) | [ ℃ ] | |
外観 | 無色・刺激臭の気体 | 発火点 | なし (不燃性) | [ ℃ ] | |
ガス比重 | 3.63 (20℃, 0.1MPa, Air = 1) | 蒸発熱 | 3.55(-86.8℃, 0.22MPa) | [kcal/mol] | |
ガス密度 | 4.67 (0℃, 0.1MPa) | [kg/m3] | 比熱 | 17.59(25 ℃) | [cal/mol・K] |
液密度 | 1.59 (-80℃) | [kg/L] | 燃焼範囲 | なし (不燃性) | [ vol% ] |
融点 | -86.8 | [ ℃ ] | 許容濃度 | TLV-TWA = 2.5 (as F) | [ mg/m3 ] |
沸点 | -94.8 | [ ℃ ] | 注記 | 水の存在下でフッ化水素に分解する |
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