当社では、ガス取り扱いのノウハウを生かし、長年に亘り、Epi装置、MOCVD用原料供給装置を始めとした各種ガスパネル/ガスボックスの設計・製作のご依頼に対応して参りました。
これまでの実績を生かし、ユーザー様のご要望(価格、仕様)に合わせた、オーダーメイドのガスパネル/ガスボックスが提供可能です。
通常のガス供給に加えて、液化ガスのバブリング送気にも対応いたします。
また、各種法令による届出申請のお手伝いもいたします。
ガスを必要とする生産装置やチャンバーに、ガスを分岐して供給するための設備です。
VMB…valve manifold box VMP…valve manifold panel
ある一つの供給先でガス漏洩が発生した場合、対象となるVMBのポートだけを遮断することができます。供給元のシリンダーキャビネットを遮断する必要が無いため、他の装置への供給は持続され、ガス漏洩の影響を最小限の範囲に留めることができます。
■主な機能
ノーマルボックスタイプ
ツールガスボックスタイプ
バックアップタイプ
マルチガスタイプ
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