システムコントロール用ソフトウェア
システムコントロール用ソフトウェア ToPS9は、汎用PCのWindows上で動作し、半導体製造装置をはじめとしたプロセスコントロールを行なうシステムコントローラです。
プロセスコントロールに必要なレシピ作成機能、その実行機能、モニタリング機能および履歴機能を備えています。
対象設備
製品概要
- PLCリンク機能
- グラフィック表示機能
- 保存可能レシピ数
99本 (99ステップ/レシピ)
- ステップにおける設定
ステップ名称 (半角8文字)
デジタル出力 (バルブ類) 48点
流量設定 12点
温度設定 5点
- ステップ歩進条件
時間 (最大99h59m59s)
温度、圧力、外部入力およびタッチパネルからの入力
- アラームインターロック機能
ガス流量、温度および外部入力についてそれぞれインターロックレベルを設定 (4レベル)
インターロックジャンプ先(任意のレシピ番号、ステップ番号)を設定
- データチェンジ機能
実行中レシピの全ステップの設定内容変更可能
- データ履歴機能
任意ステップ時の温度およびガス流量
- 稼動履歴機能
処理開始時間、終了時間、成膜ステップ時のガス流量および温度等の最新の100バッチ分を保存
- アラーム履歴
最新の50イベント分を保存
- ヒストリカルトレンド機能
温度、ガス流量、真空度を10秒毎に100バッチ分を保存します。
動作環境
Microsoft windowsは米国Microsoft社の米国および
その他の国における登録商標です。
対応OS Windows 7
PLCとリンク可能なハードウェア
提供の形態
- ソフトウェア単体
- ユーザ向けカスタマイズ
- ハードウェアの環境設定およびインストール
- PLCリンク設定
- PLCプログラム
上記のいずれかもしくは組み合わせ。 本ソフトウェアはPLCがI/Oとなり制御する必要があります。
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