高感度質量分析装置 ASTON Impact (アストン インパクト)

大気圧からサンプリングOK!コンパクトな高感度質量分析装置

ヘリウム(He)不使用・連続運転可能

「ASTON Impact」は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。
コストパフォーマンスと使い勝手を追求した電子イオン化イオン源モデルです。

省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることができます。

小型ながらm/z285 まで拡張したマスレンジに加え、プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しました。
電子イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。

高感度質量分析装置 ASTON Impact

利用シーン

  • ガスクロマトグラフなどヘリウム(He)キャリアを使う分析計の代用
  • FT-IR分析器の代用
  • 二酸化炭素(CO2)回収の排気ガス連続分析用
  • 水素(H2)その他ガス排気の濃度計測
  • 半導体装置のガス測定
  • CVDクリーニング・エンドポイント
  • エッチング・エンドポイント
  • 成膜プロセスコンディション計測
  • ドライポンプ保守、安全性担保のためのガス測定
  • 発酵プロセス中の発生ガス(エタノール等)のモニタリング計測
  • NMPのモニタリング計測
  • フリーズドライ工程の残留水分管理計測
  • 排ガス管理計測
  • 多種ガス漏れ探索のための計測

実績

プロセスチャンバークリーニング

1.はじめに

半導体製造プロセスでは、Chemical Vapor Deposition(CVD)方が多用されています。酸化膜や金属膜などを形成する工程が多く含まれます。
CVDでは、チャンバー内壁への固体状の堆積物の蓄積や、これによるパーティクルの発生がプロセスに大きな影響を与えます。
このため、成膜頻度に応じたチャンバークリーニングが必要となります。
通常、チャンバークリーニングは、終点を考慮した経過時間で管理されています。

2.試験方法

1.CVD装置にステンレス製パイプでバルブとASTON Impactを接続します。
2.クリーニングプロセスを開始し、ASTON Impactの測定を開始します。
3.反応生成物とクリーニングガスのトレンドをモニタします。

システム構成

システム構成

空気中の微量成分測定

1.はじめに

質量分析計では、目的に応じて様々なガス分子を測定しますが、測定対象が微量成分の場合、検知が困難な場合があります。
ガス分子の質量分析では、空気中に含まれる微量成分(表1)を測定し、質量分析装置の性能を評価します。

2.試験方法

1.空気を質量分析装置ASTONに導入します。  
2.ASTONの測定を開始し、目的分子の検出を確認します。(表2)

表1. 乾燥空気の組成

表1.乾燥空気の組成

 

表2. ASTON測定条件

表2.ASTON測定条件

主なアプリケーション

  • プロセスコンディションモニタ(エッチング・成膜)
  • エンドポイントモニタ(エッチング・クリーニング)
  • チェンバ汚染モニタ
  • ガス除害システムの残留ガス分析
  • 環境モニタ
  • 発酵プロセスモニタ
  • 天然ガス分析モニタ
  • Lyophilization (Freeze-Drying)

特徴

  • イオン化方式:電子イオン化法
  • フィラメント: Re/W または Ir/Y2O3 から選択可能
  • 質量分離方式:四重極型
  • 検出器:FC/SEM
  • ポンプ:ターボ分子ポンプ、フォアポンプ※オプション
  • サイズ:299 x 218 x 331 mm
  • Dwell Time: 10ms~
  • 検出限界:0.1ppm (窒素換算)
  • 質量範囲:2-285 u
  • 電源、電力:24V, 350W
  • IoT(Internet of Things)対応 Either ポート

ASTON Impact 画像一覧

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ASTON Impact 360度ビュー

※再生ボタンをクリックするとASTON Impactを360度確認することができます。

技術データ

タングステンエッチング

WF6+が開裂して生成されたWFx+の同位体分布まで確認することができます。

タングステンエッチング

空気中のクリプトン測定

空気中のクリプトン(Kr)1.14ppmを検出できます。
※同位体比換算濃度の場合、m/z84のピークは約0.65ppmに相当します。

空気中のクリプトン測定

Kr 同位体比換算濃度

Kr 同位体比換算濃度

チャンバークリーニング

反応生成物やクリーニングガスに由来する成分の増減から、クリーニングプロセスを観察することができます。
終点検出も可能です。

チャンバークリーニング

エタノールの簡易成分分析

サンプル気体中のエタノールを検出することができます。
測定プローブの出し入れによるエタノールの応答速度は数秒です。

エタノールの簡易成分分析

資料のダウンロード

製品カタログ

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是非、詳細をお確かめください。

製品カタログ
アプリケーションノート名 ダウンロードリンク
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(イプロスものづくり)
No.1 ASTON Impact カタログ https://www.ipros.jp/catalog/detail/617026?
hub=60+4518944
No.2 ASTON ラインアップ https://www.ipros.jp/catalog/detail/642660?
hub=60+4518944

アプリケーションノート

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アプリケーションノート
アプリケーションノート名 ダウンロードリンク
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(イプロスものづくり)
No.1 チャンバークリーンニング https://www.ipros.jp/catalog/detail/643113?
hub=60+4518944
No.2 エタノールの簡易成分分析 https://www.ipros.jp/catalog/detail/649350?
hub=60+4518944

テクニカルノート

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テクニカルノート
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(イプロスものづくり)
No.1 空気中のクリプトン測定 https://www.ipros.jp/catalog/detail/647767?
hub=60+4518944
No.2 タングステンエッチング測定 https://www.ipros.jp/catalog/detail/647866?
hub=60+4518944
No.3 再現性 https://www.ipros.jp/catalog/detail/647867?
hub=60+4518944

参考資料

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参考資料
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(イプロスものづくり)
No.1 質量分析計の基礎講座 
その1
https://www.ipros.jp/catalog/detail/491912?
hub=60+4518944
No.2 質量分析計の基礎講座
その2
https://www.ipros.jp/catalog/detail/491915?
hub=60+4518944

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東横化学株式会社 事業開発室
担当:竹下、小久保
TEL : 044-435-5878(直通)