水素水のパーティクル除去性能について、除去率を評価しました
<評価条件>
<評価結果>
水素1ppmの水素水で除去率95%以上の性能があることがわかりました
パーティクル除去評価結果
(横軸 水素濃度ppm, 縦軸 除去率%)
水素水供給装置 | |
---|---|
流量ラインナップ | 10 / 50 / 70 / 90 / 100 / 140 L/min |
溶存水素濃度 | 2ppm @ 140L/min |
電気伝導率 | 20μS/cm ~ 200μS/cm |
溶存水素濃度計 | ○ |
溶存アンモニア濃度計 | ○ |
ユーザーインターフェース | タッチパネルディスプレイ |
SEMI通信規格 | SECS-II / GEM 準拠 |
電源 | 240VAC Φ1 25A |
ユーティリティ | DI、乾燥空気、窒素、排水、筐体排気 |
ユーティリティ
(アンモニア添加オプション) |
水酸化アンモニウム(NH4OH)、アルカリ排水、アルカリ排気 |
外寸 | 1,150(w) x 910(d) x 1,950(h) mm |
重量 | 約500kg |
MIRAI事業開発チーム
担当:竹下
TEL:044-435-5878(直通)