レチクルチェンジャー

M2 reticle changer

レチクルチェンジャー

レチクルチェンジャーM2は各種ボックスから別のボックス、RSPへとレチクルを移載します。
また、内蔵の測定ツールによりレチクルの外観検査を行います。 本機はどんなタイプのボックス、RSPに対しても安全にレチクルを取り出し、移載する事が可能です。
また、専用のソフトウェアによりレチクルの使用状況、モニタ、使用履歴を管理可能です。

  • 完全に自動化したレチクル/マスクのハンドリング
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • 集中N2パージ機能
  • あらゆるタイプのボックスを単一のI/Oステーションにて運用
  • レチクル測定ツール
  • コンパクトなデザインと使い易いインターフェース

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
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