ボックス/キャリア

レチクルボックス(メガオプティカル)

Brooks Mega Optical Case

レチクルボックス(メガオプティカル)

レチクルの安全な出荷と保管を実現した理想的なボックスです。

  • Sizes 5" 90mil, 6" 120mil, 6"250mil, 7"120mil, 7.25"150mil
  • シールガスケット
  • シングルラッチ、セーフティロック機構、完全自動化対応

レチクルボックスの材質:
PC Polycarbonate carbon - fibre reinforced Baylon

レチクルボックス(Aラピッド)

Brooks reticle Box A Rapid

レチクルボックス(Aラピッド)

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

  • Size 6" 250mil
  • レチクルとの接触部最小
  • 2スライドロック

レチクルボックスの材質:
ABS permastat clear

レチクルボックス(Bウルトラ)

Brooks Box B Ultra

レチクルボックス(Bウルトラ)

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

  • レチクルとの接触部最小
  • Size 6" 250mil
  • ステンレスヒンジにより長寿命

レチクルボックスの材質:
Bayon

レチクルボックス(Cシフト)

Brooks Box C Swift

レチクルボックス(Cシフト)

レチクルの安全な運用と保管を実現した理想的なボックスです。

  • Size 6" 250mil
  • レチクルとの接触部最小
  • コンパクトなデザインによる最小化
  • 使い易く、安全なシングルロック
  • 単一材料での製品化、アウトガス軽減

レチクルボックスの材質:
Bayon

レチクルボックス(Dツイン)

Brooks Box D Twin

レチクルボックス(Dツイン)
  • Size: 6"250mil, 5"90mil マスクに適応
  • ダブルペリクル用

レチクルボックスの材質:
Polypropylene

レチクルボックス(9"カスタマイズ)

9" customized box

レチクルボックス(9"カスタマイズ)

9"レチクルのための出荷、保管ボックスです。

  • Size 9"
  • レチクルを固定する4個のクリップ
  • レチクルの出し入れが容易
  • 輸送による汚染無し
  • 帯電防止材料

レチクルボックスの材質:
PMMA RTP clear

6"ウェハーキャリア

6" wafer carrier

6"ウェハーキャリア

6"ウェハーキャリア(25スロット)

  • Size 6" 25Slot
  • 帯電防止材料を使用
  • 非多孔質表面
  • 難燃剤 UL94 V0
  • ヒートプロセスへの対応
  • SEMIの仕様に準拠
  • 各薬液への対応

150mmウェハーキャリアの材質:
PC Polycarbonate carbon - fibre reinforced
COC

8"ウェハーキャリア

8" wafer carrier

8"ウェハーキャリア
  • Size 8" 25Slot
  • 帯電防止材料を使用
  • 高精度と高い耐久性
  • ヒートプロセスへの対応
  • 客先、装置の特殊仕様への対応が可能です

200mmウェハーキャリアの材質:
PC Polycarbonate carbon - fibre reinforced
COC
PEI Polyetherimide

ウェハートランスポートボックス

Carrier wafer box

ウェハートランスポートボックス

200mmウェハーの安全な輸送と保管を実現した理想的なボックスです。

  • 高次元の安定性と非多孔質表面
  • ヒートプロセスへの対応
  • フラットボトムデザイン
  • 客先、装置の特殊仕様への対応が可能です

ウェハーボックス の材質:
Polycarbonate with carbon fiber
Polypropylene with carbon powder
Polyetherimide

シングルウェハーボックス

Single Wafer box

シングルウェハーボックス

200mmウェハーの安全な輸送と保管を実現した理想的な枚葉ボックスです。

  • シールガスケット
  • シングルラッチ、セーフティロック機構、完全自動化対応

ウェハーボックスの材質:
Bayon

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)