レチクルストッカ

ベアレチクルストッカ

M1990- bare reticle stocker

ベアレチクルストッカ

ベアレチクルストッカM1990は、最大2000枚ものレチクルが保管可能です。5"、6"レチクルに対応しており、これらレチクルを管理するソフトウェアはレチクルの正確な入出庫、モニタ、履歴管理を行います。
内蔵された測定ツールによりレチクルの外観検査も可能です。
従来のレチクルストッカとは異なり、レチクルをボックスから取り出した状態で保管するという新しい方式を採用する事で、コンパクトな筐体に大量のレチクルを保管可能としています。

  • 完全に自動化したレチクル/マスクのハンドリング
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • オプションにてヘーズの成長を防ぐN2/XCDAパージ機能
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント
  • レチクル測定ツール
  • ボックス、ポッド用のバッファーステーション
  • OHTインターフェース対応

フルオートボックスレチクルストッカ

M1900 - fully automated box reticle stocker

フルオートボックスレチクルストッカ

セミオートボックスレチクルストッカM1900は、最大2680枚ものレチクルをボックスごと保管します。
レチクルはボックスのIDにより専用ソフトウェアで管理され入出庫、モニタ、使用履歴等をデータベース上で管理します。
これにより工場内の全てのレチクルの運用を最適化する事を実現します。

  • セミオートタイプ(レチクルボックスごと保管)
  • 各社レチクルボックス、RSPに対応
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント(1.9m×1.9m)
  • レチクル管理システム
  • 素早いロード/アンロード(検索)
  • 使い易いインターフェース

セミオートボックスレチクルストッカ

M1900 semi-automated box reticle stocker

セミオートボックスレチクルストッカ M1900

フルオートボックスレチクルストッカM1900は、最大7400枚ものレチクルを保管可能です。レチクルはボックスから取り出し、静電気対策を施した専用ケースに移し変えて保管されます。
内蔵の測定ツールによりレチクルの外観検査も可能。あらゆるタイプのレチクルボックスを単一のI/Oステーションにて運用する事が可能です。

  • 完全に自動化したレチクル/マスクのハンドリング
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • レチクルのボックス移載機能を装備
  • ヘーズの成長を防ぐN2/XCDAパージ機能
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント
  • レチクル測定ツール
  • ボックス、ポッド用のバッファーステーション
  • OHTインターフェース対応

M1500 semi-automated box reticle stocker

セミオートボックスレチクルストッカ M1500

セミオートボックスレチクルストッカM1500は最大1500枚ものレチクルをボックスごと保管します。
レチクルはボックスのIDにより専用ソフトウェアで管理され入出庫、モニタ、使用履歴等をデータベース上で管理します。
これにより工場内の全てのレチクルの運用を最適化する事を実現します。

  • セミオートタイプ(レチクルボックスごと保管)
  • 各社レチクルボックス、RSPに対応
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント(1.5m×1.5m)
  • レチクル管理システム
  • 素早いロード/アンロード(検索)
  • 使い易いインターフェース

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
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