ウェハーストッカ

水平保管型ウェハーストッカ

M2000 - wafer stocker horizontal storage

M2000 - wafer stocker horizontal storage

ベアウェハーストッカM2000(水平保管型)は、FOUP/FOSBからウェハーを取り出し専用のストレージにて保管するという新しい方法を用いる事で、ウェハーの大量保管を可能としました。
これに伴い工場内のFOUP/FOSBの数を大幅に削減することができる為、圧倒的なコストダウンを実現。
保管したウェハーは専用マネージメントソフトウェアにより検索、分類し管理されます。このソフトウェアはSemiE40、E94に準拠。

  • 完全自動化対応の専用枚葉ウェハーストレージ
  • ストレージピッチ2.5mm
  • 最大10,000枚のウェハーを保管・スモールフットプリント
  • オプションにてN2/XCDAパージ機能追加
  • OHTインターフェース対応
  • クロスコンタミネーションを避けるため保管場所の区分け可能
  • FOUP用バッファーステーション

縦置保管型ウェハーストッカ

M2200 - wafer stocker vertical storage

M2200 - wafer stocker vertical storage

ベアウェハーストッカM2200(縦置保管型)は、FOUP/FOSBからウェハーを取り出し専用のストレージにて保管するという新しい方法を用いる事で、ウェハーの大量保管を可能としました。
これに伴い工場内のFOUP/FOSBの数を大幅に削減することができる為、圧倒的なコストダウンを実現。
FOUPは専用のバッファーに保管され必要な際にウェハーをFOUPへセットし出庫されます。
保管したウェハーは専用マネージメントソフトウェアにより管理、このソフトウェアはSemiE40、E94に準拠。

  • 完全自動化対応の専用枚葉ウェハーストレージ
  • 最大2,000枚のウェハーを保管・スモールフットプリント
  • オプションにてN2/XCDAパージ機能追加
  • OHTインターフェース対応
  • クロスコンタミネーションを避けるため保管場所の区分け可能
  • FOUP用バッファーステーション

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ウェハーストッカに関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)