Brooks社 その他の製品

ウェハー、レチクルの正確な保管、移載!!

Brooks社は、FOUP/キャリア洗浄機の他にもウェハーストッカ/レチクルストッカ、ウェハー/レチクル移載機、ケース/キャリア等、半導体の製造を支える様々な製品を製作しております。
Brooks社は今までの常識に一切囚われず、全く新しい視点で半導体製造工程を見直し、お客様のニーズに応える装置を製造・販売しております。高い技術力と信頼性でお客様の生産活動を支援いたします。

  • ウェハーストッカM2400

    ウェハーストッカM2400

  • レチクルIN/OUTポート

    レチクルIN/OUTポート

その他の製品

”ベアストッカ”という新しい方式を採用する事でコンパクトな筐体に大量のウェハー、レチクルを保管する事を可能としたストッカ、安全且つ信頼性の高いウェハー/レチクル移載機、そして世界で多数の採用実績を持つ信頼性の高いボックス/キャリア類とそのラインナップは多岐に渡ります。

ウェハーストッカ

独自の保管システムで大量のウェハーを保管

レチクルストッカ

独自の保管システムで大量のレチクルを保管

ボックス/キャリア

安全な出荷と保管を実現した理想的なボックス

レチクルチェンジャー

完全自動化対応の画期的なレチクル移載機

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
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