オンデマンド フルオートFOUP/キャリア洗浄機

M800 - on demand full auto FOUP/FOSB cleaner

M800はM300/M600で培ったボックス洗浄の経験を元に、新しいコンセプトで開発された完全自動タイプのFOUP洗浄機です。
オンデマンド(単一処理)方式の採用による待ち時間無しの洗浄を実現。バキュームチャンバーを有しており、洗浄後ワークに堆積している水分・VOCといった不純物を除去する事が可能です。
FOUPの分解・組立(PODとDOOR)、ロボットによるチャンバーへのロード、アンロードといった一連の作業全てをClass1ミニエンバイロメントにて行います。またOHT、SECS/GEMSインターフェースに対応しており、完全無人化対応。お客様の生産活動を支えます。

  • 完全に自動化、オンデマンド(単一)処理
  • 処理能力に応じて選択可能なチャンバー構成
  • マニュアルオペレーション可能
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
  • 完全乾燥、脱ガス処理を実現するバキュームシステム
  • SECS / GEMインターフェース対応
  • OHTインターフェース対応
オンデマンド フルオートFOUP/キャリア洗浄機

システム構成

処理能力に応じて洗浄チャンバー、バキュームチャンバーの構成を選択する事が可能、これに搬送ロボット、3つのOHTポート、1つのマニュアルロードポートを加えたシステム構成となります。洗浄チャンバーは3、2つ、バキュームチャンバーは2、1つより選択できます。

システム構成

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KUKA搬送システム

産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。

  • OHTポートへのアクセス

    OHTポートへのアクセス

  • 洗浄チャンバーへのロード

    洗浄チャンバーへのロード

アプリケーション

  • FOUP
  • Auto Door FOSB (Manual Doorは未対応)

その他ご希望のワークがございましたら、ご相談下さい。

洗浄・乾燥

FOUPがぴったり1つハマるコンパクトな洗浄チャンバー内に備えられた多数のノズルで至近距離から純水をスプレーする事でFOUP本体、ドア内側の洗浄を行います。
乾燥はHOTエアスプレー+IRヒーターの輻射熱により行います。処理中、FOUP本体をゆっくり回転させる事で隅々までスプレーが到達するようになっております。

洗浄チャンバー内

バキュームプロセス

FOUP脱ガスシステム(AUD)で紹介しているバキュームシステムを備えております。

処理は大きく3ステップに分かれます。
①真空引き→②IRヒーター加熱での真空引き→③N2置換(大気へ)
これによりウェハー、FOUPからのアウトガス、クリーンルーム中のAMCといった汚染源をFOUPより除去します。
VOCの除去率は90%以上、その効果は6週間継続するといったデータも出ております。

バキュームプロセス
脱ガスの様子

FOUP、ウェハーからは様々なアウトガスが出ていると言われております。
酸(HF、HCL、HBr)、アルカリ(NH3)、有機物、VOC等これに加えクリーンルーム内のエアーにもこれら汚染源が存在しており、最先端生産ラインではこれらの問題にどう対応していくかが求められております。M800は最終乾燥(脱ガス)処理を行う事でこれらの問題をすべて解決します。

基本仕様・必要用力

装置寸法 3613mm×3113mm×3250mm
重量 5300Kg
システム構成 1、 3Clean Chamber - 2Vacuum Chamber
2、 2Clean Chamber - 2Vacuum Chamber
3、 2Clean Chamber - 1Vacuum Chamber
処理能力 1、 20FOUP/hour
2、 14FOUP/hour
3、 10FOUP/hour
用力 本体電源 φ3 200VAC 63A 50/60Hz
エアヒーター電源 φ3 200VAC 125A 50/60Hz
純水加熱器電源 φ3 200VAC 600A 50/60Hz
駆動用CDA 1/2" 6bar 500L/min
乾燥用CDA 2" 6bar 5000L/min
N2 1/2" 5bar 500L/min
純水 1" max4.5bar 50L/min
排水 PP 2"
チャンバー排気 PP 6" 300m3/hour

資料ダウンロード

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キャリア洗浄機に関する電話でのお問い合わせ

東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)