フルオートFOUP/キャリア洗浄機

M600 - full auto FOUP/FOSB cleaner

M600は世界中で支持を受けるセミオートタイプM300の洗浄・乾燥システムをそのままに、完全自動化を実現したフルオートタイプのFOUP洗浄機です。
M300のチャンバー機構を2つ備えた本装置は、圧倒的な処理能力を保有します。300mm用FOUP、FOSB、RSPに対応可能です。自動オープナーによりFOUPの分解・組立(PODとDOOR)、ロボットによるチャンバーへのロード、アンロードといった一連の作業全てをClass1ミニエンバイロメントにて行います。 またOHT、SECS/GEMSインターフェースに対応しており、完全無人化対応。お客様の生産活動を支えます。

  • 完全に自動化したFOUP/FOSBのハンドリング
  • インナーバッファーステーション
  • マニュアルオペレーション可能
  • OHTインターフェース対応
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント
  • ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
  • 完全乾燥を実現するIRヒーターシステム
  • SECS / GEMインターフェース対応
フルオートFOUP/キャリア洗浄機 M600

M300の洗浄チャンバーを2つ持ち、これに搬送ロボット、ロード/アンロードポート、バッファステーションを加えたシステム構成となります。
下記はダブルチャンバータイプですが、洗浄チャンバーが1つのシングルチャンバータイプもございます。

KUKA搬送システム・インサート構成

産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。

ロボットアーム
ロボットによるFOUP搬送の様子

ロボットによるFOUP搬送の様子

KUKA搬送システム・インサート構成

アプリケーション

  • FOUP
  • Auto Door FOSB (Manual Doorは未対応)
  • RSP200

その他ご希望のワークがございましたら、ご相談下さい。

洗浄・乾燥

洗浄・乾燥方式は世界中で多数の実績を誇るセミオートタイプM300と同じです。
※詳細についてはM300の詳細ページをご覧下さい。

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)