フルオートFOUP/キャリア洗浄機

M600 - full auto FOUP/FOSB cleaner

M600は世界中で支持を受けるセミオートタイプM300の洗浄・乾燥システムをそのままに、完全自動化を実現したフルオートタイプのFOUP洗浄機です。
M300のチャンバー機構を2つ備えた本装置は、圧倒的な処理能力を保有します。300mm用FOUP、FOSB、RSPに対応可能です。自動オープナーによりFOUPの分解・組立(PODとDOOR)、ロボットによるチャンバーへのロード、アンロードといった一連の作業全てをClass1ミニエンバイロメントにて行います。 またOHT、SECS/GEMSインターフェースに対応しており、完全無人化対応。お客様の生産活動を支えます。

  • 完全に自動化したFOUP/FOSBのハンドリング
  • インナーバッファーステーション
  • マニュアルオペレーション可能
  • OHTインターフェース対応
  • Class 1 ミニエンバイロメント & 除電システム
  • ハイキャパシティ・スモールフットプリント
  • ウルトラクリーンを実現するスプレーシステム
  • 完全乾燥を実現するIRヒーターシステム
  • SECS / GEMインターフェース対応
フルオートFOUP/キャリア洗浄機 M600

システム構成

M300の洗浄チャンバーを2つ持ち、これに搬送ロボット、ロード/アンロードポート、バッファステーションを加えたシステム構成となります。
下記はダブルチャンバータイプですが、洗浄チャンバーが1つのシングルチャンバータイプもございます。

TOP VIEW

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LEFT SIDE VIEW

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KUKA搬送システム・インサート構成

産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。

ロボットアーム
ロボットによるFOUP搬送の様子

ロボットによるFOUP搬送の様子

KUKA搬送システム・インサート構成

アプリケーション

  • FOUP
  • Auto Door FOSB (Manual Doorは未対応)
  • RSP200

その他ご希望のワークがございましたら、ご相談下さい。

洗浄・乾燥

洗浄・乾燥方式は世界中で多数の実績を誇るセミオートタイプM300と同じです。
※詳細についてはM300の詳細ページをご覧下さい。

基本仕様・必要用力

装置寸法 2894mm×3340mm×2995mm
重量 2900Kg
カラム構成 4カラム - 8FOUP/FOSB ×2
4カラム - 8RSP200 ×2
処理能力 14FOUP/FOSB/hour
14RSP200/hour
用力 電源 φ3 480VAC 80A 50/60Hz
CDA Swagelok 3/8" 4-7bar ×2
N2 Swagelok 3/8" max5bar ×2
純水 flaretek 1" max4.5bar ×2
界面活性剤 flaretek 1/2" ×2
排水 PVC 60mmO.D. ×2
チャンバー排気 PVC 160mmO.D. 500m3/hour ×2
キャビネット排気 110mmO.D. ×2

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)