FOUP脱ガスシステム

AUD - advanced ultra desorber

FOUP脱ガスシステム AUD(Advanced Ultra Desorber)は、adixenドライポンプを持つフランス アルカテル社とBrooks社のコラボレーションにより生まれた最先端のFOUP/FOSB最終乾燥システムです。
コンパクトな本体に4setのFOUP/FOSBをセット、簡単操作でFOUP/FOSBの最終乾燥、脱ガス(脱AMC、VOC)を行います。リアルタイムモニタを備え、その処理過程を確認する事が可能です。
近年問題視されているFOUP/FOSBから出るアウトガスに対応した新しいシステムです。洗浄機(M300、M600)の隣に設置する事も可能です。

  • 4セット(本体及びドア)/1処理
  • スモールフットプリント
  • N2パージ機能
  • リアルタイムに脱水分・脱ガス状況を表示
FOUP脱ガスシステム AUD

システム構成

FOUP/FOSBを4set置く事ができる乾燥チャンバー、adixenドライポンプシステム、IRヒーター各種センサー及び処理状況をリアルタイムに確認するためのスクリーンといったシンプルな構成になります。

システム構成
  • FOUP搭載イメージ

    FOUP搭載イメージ

  • リアルタイムモニタースクリーン

    リアルタイムモニタースクリーン

処理概要

処理は大きく3ステップに分かれます。
①真空引き→②IRヒーター加熱での真空引き→③N2置換(大気へ)
これによりウェハー、FOUPからのアウトガス、クリーンルーム中のAMCといった汚染源をFOUPより除去します。
VOCの除去率は90%以上、その効果は6週間継続するといったデータも出ております。

バキュームプロセス
脱ガスの様子

FOUP、ウェハーからは様々なアウトガスが出ていると言われております。
酸(HF、HCL、HBr)、アルカリ(NH3)、有機物、VOC等これに加えクリーンルーム内のエアーにもこれら汚染源が存在しており、最先端生産ラインではこれらの問題にどう対応していくかが求められております。M800は最終乾燥(脱ガス)処理を行う事でこれらの問題をすべて解決します。

性能表

産業用ロボットにおける大手、ドイツのKUKA社の搬送システムを採用しております。
ロボットはクリーンルーム対応モデルであり、最先端半導体生産ラインへも対応可能です。正確且つスピーディなワークの搬送を実現します。

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    FOUP Decontamination after cleaning

    FOUP Decontamination after cleaning

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    VOC decontamination of FOUP with AUD

    VOC decontamination of FOUP with AUD

基本仕様・必要用力

装置寸法 2040mm×873mm×914mm
重量 450Kg
チャンバー構成 8FOUP/FOSB
処理能力 4FOUP/FOSB/run
用力 電源 φ3 200VAC 15A 50/60Hz
CDA メネジ 1/8" 5-10bar
N2 メネジ 1/8" 5-10bar
チャンバー排気 NW25 ISO KF

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