プロセスと環境のクリーンを約束する アルカテル社のルーツ式ドライポンプ（ACPシリーズ）
ドライ真空ポンプ（またはドライポンプ）「ACPシリーズ」は大気圧～数Paの圧力領域で活躍する多段ルーツ式の空冷型ドライ真空ポンプです。
油を使用していない方式の真空ポンプで一般的には「ドライポンプ」と呼ばれます。油を使用するポンプで起きうる油煙やオイル交換作業時の油による室内汚染という概念が無いため、ドライ真空ポンプは、クリーンルームのように清浄度が求められる環境での設置に適しています。
ドライ真空ポンプは種類や方式が多く、振動と磨耗でシール材が粉塵となるタイプもありますが、このACPシリーズは気体の流路において磨耗する部分を使用しておらず、パーティクル汚染ゼロの非接触式ドライ真空ポンプとして半導体業界で高い評価を頂いております。
期待される用途・・・
高いクリーン度が求められるライトプロセス全般
※本製品は軽負荷（ライトプロセス）向けの製品です。お求めの際は、ご使用方法を営業窓口へお伝え下さい。
詳細な仕様説明がカタログにございます。 是非ダウンロードして、内容をお確かめください！
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