その他の真空機器

真空装置を構成する真空機器のメーカーは数多くありますが、特定のパーツの分野で特に秀でた性能とラインナップを誇る商品を、東横化学が選りすぐりご紹介いたします。

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、真空装置で10-3~10-8Pa 台の高真空を得る為の真空ポンプです。「ターボポンプ」や「ターボモレキュラポンプ」「TMP」と呼ばれ、様々な用途に使われています。

ロータリーポンプ(油回転ポンプ)

ロータリーポンプ(油回転ポンプ)は、大気圧である105Pa(約100,000Pa)から10-1Pa(0.1Pa)台までの低真空と呼ばれる圧力領域で活躍する真空ポンプで、真空装置や真空のプロセスに欠かせない真空機器です。

アルカテル社 ドライ真空ポンプ

プロセスと環境のクリーンを約束するアルカテル社のルーツ式ドライポンプ(ACPシリーズ)。 クリーンルームのように清浄度が求められる環境での設置に適しています。

樫山工業 ドライ真空ポンプ

樫山工業のドライ真空ポンプは、「スクリュー型」及び「多段ルーツ型」で粉塵や部品の摩耗がない非接触式を採用したポンプで、優れた排気性能・耐久性・省エネ性を誇ります。

真空吸込フィルター

真空ポンプの吸気口に取り付ける事でゴミや粉塵から保護するフィルターです。ポンプのトラブル回避やメンテナンス周期を延ばす効果が見込めます。半導体業界から食品業界まで様々な用途で採用されています。

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