キヤノンアネルバの真空機器

国内真空メーカー屈指の技術を誇るキヤノンアネルバ株式会社の販売特約店として、真空ポンプ・真空計・四重極型質量分析計・リークディテクタ・真空配管部品など多くの真空機器を扱っています。
日本全国からお問い合わせを頂いておりますので、お気軽にお問い合わせください。

詳細のページには、PDFカタログを掲載しています。
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四重極型質量分析計(マスフィルタ)

真空中に、どのような種類のガス成分が残っているかを分析する計測器です。薄膜製造装置のガス分析から炉内や加速器、スペースチャンバに至るまで、様々な分野でのガス分析に使用されています。

ヘリウムリークディテクタ

真空機器のシール面や溶接箇所のリークの有無をヘリウムガスを用いて検知することができます。 コンパクト型、ハイパワー型、ドライポンプ型、量産製品向けコンソール型の用途に合わせて機種選択が可能です。

低温トラップ(インライントラップ)

真空装置のあら引きラインにおいて、真空度を良くするために使用されてきた、「液体窒素トラップ(LN2トラップ)」や、固形の吸着剤を用いてオイルバックを防ぐ「フォアライントラップ」に替わる、自ら冷凍機を搭載した新開発のトラップです。

真空計

真空計は圧力センサーの一種であり、大気圧よりも低い圧力(負圧)を計測する真空機器です。 キヤノンアネルバ社が開発したトランスデューサ型真空計は、回路部とセンサー部が一体となった真空計です。

≪その他、真空機器、真空機器関連装置を順次紹介予定です≫
蒸着制御機器、配管部品(フランジ、チャンバー等)

また、真空装置として、スパッタリング装置、蒸着装置、P-CVD装置、ガス分析装置、排気装置等も取り扱っております。

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東横化学(株) 機器・装置事業部 機器販売部
機器販売チーム:小野邉(オノベ)
TEL:044-435-5856(直) FAX:044-434-9091