ダイヤフラムバルブ

米国APTech社より輸入販売しているダイヤフラムバルブをご紹介いたします。 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応しています。

ダイヤフラムバルブの推奨機種選定表(PDF)を掲載しています。
ダイヤフラムバルブを使用するに際して、その選定の目安となりますので、ダウンロードしてお読みください

圧力調整器

ダイヤフラムバルブ 選定表
ダイヤフラムバルブを使用するに際してその選定の目安となりますので、まずはダウンロードしてお読みください。

高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AP】

特長

  • 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応。
  • 豊富な品揃えによりあらゆるガス供給用途に対応。
  • SUS316L(ダブルメルト)材質を使用。
  • 接ガス部は、電解研磨処理+不動態化処理。
  • ダイレクトダイヤフラム構造により、高気密、高耐久、パーティクルフリーやデットスペースも小さく置換効率も良い。
  • 外部メタルシール構造
高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AP】

画像一覧 ※クリックすると拡大します

AP3650シリーズ AP3650シリーズ AP3650シリーズ ※ハスプ付

仕様およびPDFカタログダウンロード

下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。

  用途 シリーズ(PDFカタログ) 接続方法
AP エアオペレート式 低圧用

AP3500シリーズ(427KB)

AP4500シリーズ(427KB)

・フェースシール継手
・チューブ接続
高圧用

AP3000シリーズ(402KB)

AP3130/3113シリーズ(385KB)

大流量用

AP3700シリーズ(369KB)

二段式

AP3571/4571シリーズ(355KB)

メタル
シール

AP3200シリーズ(363KB)

マニュアル式 低圧用

AP3600シリーズ(574KB)

AP4600シリーズ(573KB)

高圧用

AP3100シリーズ(382KB)

大流量用

AP3800/3900シリーズ(403KB)

メタル
シール

AP3260シリーズ(372KB)

ローコスト高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AZ】

特長

  • 半導体産業など超高純度ガス供給設備・製造装置用途に対応。
  • SUS316L(シングルメルト)材質を使用しコストダウン提案。
  • 接ガス部は、電解研磨+不動態化処理。
  • ダイレクトダイヤフラム構造により、高気密、高耐久、パーティクルフリーやデットスペースも小さく置換効率も良い。
  • 外部メタルシール構造
ローコスト高純度プロセスガス用 ダイヤフラムバルブ 【AZ】

仕様およびPDFカタログダウンロード

下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。

  用途 シリーズ(PDFカタログ) 接続方法
AZ エアオペレーション式 低圧用

AZ3542/4542シリーズ(335KB)

・フェースシール継手
・チューブ接続
マニュアル式

AZ3652/4652シリーズ(351KB)

一般ガス用 ダイヤフラムバルブ 【AK】

特長

  • 半導体産業から一般産業まで幅広い用途に使用可能。
  • コンプレッション継手、Rc、R、NPTに対応。
  • 材質はSUS316を使用。
  • 接ガス部は不動態化処理。
一般ガス用 ダイヤフラムバルブ 【AK】

仕様およびPDFカタログダウンロード

下記表のシリーズの欄のシリーズ名をクリックして頂くと、PDFカタログをダウンロードすることができます。
ダウンロードして詳細をお確かめください。

  用途 シリーズ(PDFカタログ) 接続方法
AK エアオペレーション式 低圧用

AK3542/4542シリーズ(963KB)

・コンプレッション継手
・Rc
・R
・NPT
マニュアル式

AK3652/4652シリーズ(998KB)

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