集積ガスシステム(IGS対応) 圧力調整器

特長

  • 半導体製造装置、設備など超高純度ガス供給用途に対応。
  • 集積化ガスシステム(IGS)に対応。
  • SUS316L(ダブルメルト)材質を使用。
  • 小流量から大流量(200slpm)、腐食性用、絶対圧用など豊富な品揃え。
  • 外部メタルシール構造
集積ガスシステム(IGS対応) 圧力調整器

仕様およびPDFカタログダウンロード

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  用途 接続 シリーズ(PDFカタログ)
AP/SL 集積ガスシステム(IGS)対応

IGS AP500シリーズ (161KB)

IGS SL5200シリーズ (131KB)

IGS AP1400Tシリーズ(152KB)

圧力調整器

圧力調整器 選定表
圧力調整器(減圧弁)を使用するに際してその選定の目安となりますので、まずはダウンロードしてお読みください。

取扱説明書・他シリーズのカタログ

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東横化学株式会社(機器・装置事業部 機器販売部)
TEL : 044-435-5860(直通)

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