セミコン・ジャパン2016出展のお知らせ

お知らせ
2016/11/11

セミコンジャパン

平成28年12月14日(水)~16日(金)東京ビッグサイトにおいて、半導体製造装置・材料の国際展示会であるセミコンジャパン2016が開催されます。
弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、バルク及び特殊材料ガス、液体材料/薬品等の供給設備関連から排ガス処理装置まで、お客様のニーズに沿った製品とエコロジーなシステムを国内外にご提供しております。 
下記の通りに出展を致しますので、年末の慌しい時期に甚だ恐縮ではございますが、是非とも弊社ブースへのご来臨を賜りますよう謹んでご案内申し上げます。

日時 平成28年12月14日(水)~12月16日(金)(3日間)10:00~17:00
場所 東京ビッグサイト
小間位置:4ホール 4521
出展品 1.スラリー供給装置
2.薬液定流量制御ユニット
3.薬液濃度管理ユニット(自動滴定装置)
4.純水昇圧ユニット
5.液体材料供給システム
6.シリンダーキャビネット
7.ガス混合システム
8.ヘリウム回収装置
9.アルゴン回収装置:GR2L
10.SiC基板活性化アニール装置
11.SiC基板超高温熱処理装置
12.ALD装置:株式会社菅製作所
13.耐震マット・耐震固定金具:プロセブン株式会社、株式会社オルテック
14.超高純度精密圧力調整器(減圧弁):APTech
15.漏液センサ検知センサ
16.FOUP/キャリア洗浄機:Brooks CCS
17.真空・脱気シーラー:株式会社増井技研
18.チタン製容器
19.中古装置ビジネス
20.監視システム

<事前登録>
セミコン・ジャパン2016への入場には事前登録が必要になります。
セミコン・ジャパン2016ホームページ