メディア掲載情報

雑誌等のメディアに掲載されたものを一部紹介しております。

超偏極キセノンガス自動生成装置(PDF433KB)

『化学工業日報』 2007年10月4日記事より
(株式会社 化学工業日報社)

東横化学は、超偏極キセノンガスを安定供給できる自動生成装置の本格販売に乗り出した。産業技術総合研究所と共同開発した生成技術をベースに商品化したもので、現行のNMR(核磁気共鳴装置)や医療用核磁気共鳴断層撮影装置(MRI)などの感度を1万倍以上に高められることから、高精密・高速測定を可能とする。・・・

CMPスラリー供給装置(PDF904KB)

『電子材料』2007年5月号より転載
(株式会社 工業調査会)

当社ではCMP用のスラリー供給装置を設計販売している。 CMPは、近年のデバイス製造・発展には欠くことができない技術となっている。処理には主に薬液に砥粒を分散させた「スラリー」が用いられる。
ここではスラリー供給装置の現状の問題点と対策について述べる。・・・